HF/HCl浓度计 HF-960H

HF/HCl Concentration Monitor HF-960H

概要

适用于测量高浓度的氢氟酸和盐酸等HF-960H精确测量用于半导体制造或其它制程中所使用的氢氟酸和盐酸。使用4-电极电导率测量转换，测量范围广。专用的FES-510系列传感器使用高抗药性的材料制成，可对应高浓度的氢氟酸和盐酸。

特征

  • 大量程

自动小数位调整，可对应0.000至10.00%的HF和HCl浓度测量。

  • 自动显示切换

显示范围可由高到低自动切换。当维持有效的电导率分辨率时，本机可让用户监测变化。

  • 具有四种类测量：HF浓度、HCl浓度、电导率和温度

HF和HCl浓度测量时的温度补偿是基于相关的温度特性数据。本机还可测量其它化学药液的导电度。

  • 抗药4-极炭质传感器

FES-510系列4-极流通式传感器使用玻璃碳制造而成，具有很高的抗药性。

  • 4-通道传送输出

本机有4个输出通道，可分别对应HF浓度、HCl浓度、电导率和温度。有2种可选的电流输出：4 至 20 mA DC, 或 0至20 mA DC

  • 24 V DC 电源

  • RoHS 兼容

HF-960H是一款环境友好型产品使用，安装在主板上的芯片均采用无铅焊接。

制造: HORIBA Advanced Techno

規格

◆型号

HF-960H

测量方式

4-极炭质流通式电导率测量 – 浓度转化

传感器输出

1-通道

温度传感器规格

铂电阻 1000Ω/0ºC

测量范围

HF浓度: 0 至 10%
HCI浓度: 0至10%
电导率: 0至1000 mS/cm (无温度补偿)
温度: 0至100ºC (小数点位显示可在 1 和 2之间进行选择)

重复性

±0.5%全量程以内(等价输入)

直线型

±0.5%全量程以内(等价输入)

传送输出

输出点数: 4
4至20 mA DC 或 0至20 mA DC: I/O 绝缘型
最大负荷电阻: 900Ω
传送输出范围: 可在量程内任意设定
(每一个传送输出通道的负端都被内部连接从而具有相同的电势。)

接点输出

输出点数: 5
报警接点输出: R1, R2, R3和R4
接点类型: 继电器接点, SPST
接点容量: 240 V AC, 1A 和 30 V DC, 1A (电阻负载)
接点功能:上/下限操作 (ON/OFF 控制), 延迟操作
接点动作:• 控制动作中关闭（错误设定时）
•正常状态中打开（包括电源关闭） 
错误报警输出 (RF)
接点类型: 继电器接点, SPDT
接点容量: 240 V AC, 1A和30 V DC, 1A (电阻负载)
接点功能:错误，异常警报和维护
接点动作: 当C与NO连接，状态正常时关闭，检测到错误时打开（包括电源关闭）
(当C与NC连接时，触点状态相反)
(R1, R2, R3 和 R4, RF 分别通用.)

接点输入

输入点数: 1
接点状态: 打开集电器无电压接点 a
接点功能: 传送输出保持

通讯输出

RS-485输入/输出

校正功能

电导率:基于测量常数（参数输入）的特定补偿系数
温度:与参考温度计作比较进行校正

传送输出保持功能

可从前值保持和任意值保持中选择（但是，在维护模式中仅前值保持可用）

自诊断功能

  • 传感器诊断 (温度传感器的短路和断路)

  • 转换器错误

温度补偿

  • HF 和 HCI 特定的温度补偿

  • 输入可选温度补偿系数（参考温度：25ºC;
    温度系数: 0 至 3%/ºC

温度补偿范围

HF: 0至80ºC, HCI: 0至80ºC, 电导率: 0至100ºC

周围环境

温度: -5至45ºC, 相对湿度: 20至85% (无结露)

电源

24 V DC ±10%, 10 W (max.)

保护结构

面板: IP65, 后盖: IP20, 终端: IP00 (室内面板安装型))

质量

约550g

适用规格

CE marking, FCC Part 15

兼容传感器

FES-510系列(4-极式流通型电导率传感器)

产品相关图及其它

Dimensions of HF-960H

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