
HF/HCl浓度计 HF-960H
概要
适用于测量高浓度的氢氟酸和盐酸等HF-960H精确测量用于半导体制造或其它制程中所使用的氢氟酸和盐酸。使用4-电极电导率测量转换,测量范围广。专用的FES-510系列传感器使用高抗药性的材料制成,可对应高浓度的氢氟酸和盐酸。
特征
- 大量程
自动小数位调整,可对应0.000至10.00%的HF和HCl浓度测量。
- 自动显示切换
显示范围可由高到低自动切换。当维持有效的电导率分辨率时,本机可让用户监测变化。
- 具有四种类测量:HF浓度、HCl浓度、电导率和温度
HF和HCl浓度测量时的温度补偿是基于相关的温度特性数据。本机还可测量其它化学药液的导电度。
- 抗药4-极炭质传感器
FES-510系列4-极流通式传感器使用玻璃碳制造而成,具有很高的抗药性。
- 4-通道传送输出
本机有4个输出通道,可分别对应HF浓度、HCl浓度、电导率和温度。有2种可选的电流输出:4 至 20 mA DC, 或 0至20 mA DC
- 24 V DC 电源
- RoHS 兼容
HF-960H是一款环境友好型产品使用,安装在主板上的芯片均采用无铅焊接。
制造: HORIBA Advanced Techno
規格
◆型号 | HF-960H |
测量方式 | 4-极炭质流通式电导率测量 – 浓度转化 |
传感器输出 | 1-通道 |
温度传感器规格 | 铂电阻 1000Ω/0ºC |
测量范围 | HF浓度: 0 至 10% |
重复性 | ±0.5%全量程以内(等价输入) |
直线型 | ±0.5%全量程以内(等价输入) |
传送输出 | 输出点数: 4 |
接点输出 | 输出点数: 5 |
接点输入 | 输入点数: 1 |
通讯输出 | RS-485输入/输出 |
校正功能 | 电导率:基于测量常数(参数输入)的特定补偿系数 |
传送输出保持功能 | 可从前值保持和任意值保持中选择(但是,在维护模式中仅前值保持可用) |
自诊断功能 |
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温度补偿 |
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温度补偿范围 | HF: 0至80ºC, HCI: 0至80ºC, 电导率: 0至100ºC |
周围环境 | 温度: -5至45ºC, 相对湿度: 20至85% (无结露) |
电源 | 24 V DC ±10%, 10 W (max.) |
保护结构 | 面板: IP65, 后盖: IP20, 终端: IP00 (室内面板安装型)) |
质量 | 约550g |
适用规格 | CE marking, FCC Part 15 |
兼容传感器 | FES-510系列(4-极式流通型电导率传感器) |