液体源汽化系统
HORIBA的液体源汽化系统包括三种不同类型的汽化方式：直接注入式、混合注入式、直接加热式。我们的产品严格遵守半导体市场不断更新的要求。我们利用独一无二的尖端监测/汽化原理制作产品，比如压差监测法或HORIBA更早前开发的应用于液体流量计的冷却法，以及螺旋式的混合注入系统。我们多种不同的汽化系统以及流量控制器可提供您多种不同的选择方式。
HORIBA还拥有高精度、高速数字流量响应的液体流量控制器和液体流量计。
HORIBA对于以下几种液体材料有着丰富的经验
| Acetic Acid | Benzene | B(OCH3)3 | BTBAS | C6F6 |
| Cyclohexane | Decyl-TMOS | DPM | DPMS | Ethanol |
| Ge(OCH3)4 | GeCl4 | H2O | HCD | HDFDA |
| HMDS | HMDSO | i-Octane | IPA | Me-Cyclohexane |
| Methanol | n-Octane | OMCTS | OMTS | P(OCH3)3 |
| PO(OCH3)3 | SAM24 | Si(CH3)4 | Si(OCH3)4 | SiCH3Cl3 |
| SiCl4 | SiH(OCH3)3 | SiHCl3 | Ta(OC2H5)5 | TBTDETa |
| TDEAHf | TDEAT | TDMAS | TDMAT | TEB |
| TEMAHf | TEMAZr | TEOS | TEPO | THF |
| Ti(O-iPr)4 | TiCl4 | TMCTS | Toluene | 1,3-DMA |
MV-2000系列实现高效的汽化，即使在低温情况下也可通过螺旋式加热达到汽化效果。此种汽化方式适用于半导体制造工艺，诸如“High-k”——一种易热解的液体源
HORIBA荣获液体传输系列大奖（FDM系列），此奖项表彰于HORIBA在扩散工艺中成功开发了POCL3自动传输系统，实现POCL3传输特制塑料鼓泡装置内。
FDM和VM系统适用于硅基电池片的扩散制程，同样可以用于BBr3的扩散制程，减少运输和人力成本，提高安全性。
