大流量液体源汽化控制系统 LE系列 (Eg:OMCTS&TMA)

概要

基于合理的内部结构设计,和高效热传导材料的使用,LE可实现高效、大流量的液体汽化,可防治液体凝结。最高操作温度可达300℃,IPA汽化量可达30g/min(或等价)。最常见的使用有在太阳能电池制程中,可以用LE实现TMA气化工艺。在PV的制程中,可以用LE实现OMCTS的气化工艺。

特征

  • 创新设计实现超大汽化率
  • 新型喷射器嘴确保持续不断稳定汽化
  • 全不锈钢设计,极大程度的避免腐蚀及减少颗粒物生产
  • 支持多种液体源汽化

制造: HORIBA STEC

規格

规格参数

 

已应用液体源

H2O / IPA / TEOS / SICL4

更多的液体源汽化信息请与HORIBA联系

最大汽化量(气体流量)

H2O : 10g/min (12.4 SLM)

IPA : 30g/min (11.1 SLM)

TEOS : 50g/min(5.3 SLM)

SiCl4 : 130g/min(17.1 SLM)