大流量液体源汽化控制系统 LE系列 （Eg：OMCTS&TMA）
概要
基于合理的内部结构设计，和高效热传导材料的使用，LE可实现高效、大流量的液体汽化，可防治液体凝结。最高操作温度可达300℃，IPA汽化量可达30g/min（或等价）。最常见的使用有在太阳能电池制程中，可以用LE实现TMA气化工艺。在PV的制程中，可以用LE实现OMCTS的气化工艺。
特征
- 创新设计实现超大汽化率
- 新型喷射器嘴确保持续不断稳定汽化
- 全不锈钢设计，极大程度的避免腐蚀及减少颗粒物生产
- 支持多种液体源汽化
制造: HORIBA STEC
規格
规格参数
已应用液体源 | H2O / IPA / TEOS / SICL4 |
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最大汽化量（气体流量） | H2O : 10g/min (12.4 SLM) |
IPA ： 30g/min (11.1 SLM） | |
TEOS : 50g/min（5.3 SLM） | |
SiCl4 ： 130g/min（17.1 SLM） |