质量流量检验器MFT-20

概要

如果质量流量控制器中产生了不良现象时,为了找出原因,必须要发现构成MFC系统的SEC・电源・显示器・设定器・电缆等异常以及SEC自身的不良原因。通过MFT-20可以对驱动SEC、输入输出的电压进行监测,或者通过MFT-20的控制,检查SEC是否正常。因此,在从装置配管上卸下SEC之前,可以迅速地确认SEC的故障以及电源等的故障。并且,通过内置在主体中的电位差计也可以控制SEC。

 

特征

不必卸下配管,可以简便地进行检测。
不需要电源(使用原有的信号电缆的电源)
可以阀门全开/全关闭
可以使用自动清零功能(仅装备了自动清零功能的SEC)


制造: HORIBA STEC

規格

显示

DC20V满量程/LCD显示

内部标准电压

+5 VDC

电源电压

+7〜+30VDC(通常利用+15V 的MFC用电压)

消耗电流

在上述电压范围为6mA以下

重量

400 g

使用温度范围

0〜50℃