质量流量控制器 SEC-400系列

概要

它是搭载有温控阀的基本型号。
利用小型装置的SEC-310,可以进行大于0.1SCCM的微小流量控制。并且,利用SEC-623可以进行小于200SLM的大流量控制。
高精度型号:SEC-405可以进行±0.5%F.S.的流量控制。

特征

  •  可对应±0.5F.S.SEC-405(气体种类限定)
  • 同系列产品,从0.1CCM200SLM(N2)都可进行流量控制
  • 实现面间距离106mm: SEC-300型式
  •  


制造: HORIBA STEC

規格

SEC-310

气体接触部材质

SUS-316、氟化橡胶

阀门类型

NO: 非通电时:开; NC: 非通电时:关闭

标准流量量程

5/10/20/50/100/200/500 SCCM

流量控制范围

2〜100% F.S.(满量程)

流量精度

±1.0% F.S.(满量程)

SEC-320

气体接触部材质

SUS-316、氟化橡胶

阀门类型

NO: 非通电时:开

标准流量量程

5/10/20/50/100/200/500 SCCM

流量控制范围

2〜100% F.S.(满量程)

流量精度

±2.0% F.S.(满量程)

SEC-405

气体接触部材质

SUS-316、氟化橡胶

阀门类型

NO: 非通电时:开

标准流量量程

10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM :N2.Ar.H2.O2.CO2.CH4.C3H8

流量控制范围

2〜100% F.S.(满量程)

流量精度

±0.5% F.S.(满量程)

SEC-410

气体接触部材质

SUS-316、氟化橡胶

阀门类型

NO: 非通电时:开 ;NC: 非通电时:关闭

标准流量量程

10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM

流量控制范围

5〜100% F.S.(满量程)

流量精度

±1.0% F.S.(满量程)

SEC-510

气体接触部材质

SUS-316、氟化橡胶

阀门类型

NO: 非通电时:开 ;NC: 非通电时:关闭

标准流量量程

10/20 SLM

流量控制范围

5〜100% F.S.(满量程)

流量精度

±1.0% F.S.(满量程)

SEC-510A

气体接触部材质

SUS-316、氟化橡胶

阀门类型

NO: 非通电时:开 ;NC: 非通电时:关闭

标准流量量程

30/50 SLM

流量控制范围

5〜100% F.S.(满量程)

流量精度

±1.0% F.S.(满量程)

SEC-520A

气体接触部材质

SUS-316、氟化橡胶

阀门类型

NO: 非通电时:开

标准流量量程

30/50 SLM

流量控制范围

5〜100% F.S.(满量程)

流量精度

±2.0% F.S.(满量程)

SEC-551

气体接触部材质

SUS-316、氟化橡胶

阀门类型

NO: 非通电时:开 ;NC: 非通电时:关闭

标准流量量程

30/50/100 SLM

流量控制范围

5〜100% F.S.(满量程)

流量精度

±1.0% F.S.(满量程)

SEC-552

气体接触部材质

SUS-316、バイトン

阀门类型

NO: 非通电时:开

标准流量量程

30/50/100 SLM

流量控制范围

5〜100% F.S.(满量程)

流量精度

±2.0% F.S.(满量程)

SEC-610

气体接触部材质

SUS-316、氟化橡胶

阀门类型

NO: 非通电时:开

标准流量量程

50/100/150 SLM

流量控制范围

10〜100% F.S.(满量程)

流量精度

±1.0% F.S.(满量程)

SEC-620

气体接触部材质

SUS-316、氟化橡胶

阀门类型

NO: 非通电时:开

标准流量量程

50/100/150 SLM

流量控制范围

10〜100% F.S.(满量程)

流量精度

±2.0% F.S.(满量程)

SEC-623

气体接触部材质

SUS-316、氟化橡胶

阀门类型

NO: 非通电时:开

标准流量量程

150/200 SLM (H2:300 SLM)

流量控制范围

10〜100% F.S.(满量程)

流量精度

±2.0% F.S.(满量程)

SEC-400MK2

气体接触部材质

SUS-316、氟化橡胶

阀门类型

NO: 非通电时:开

标准流量量程

10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM

流量控制范围

5〜100% F.S.(满量程)

流量精度

±2.0% F.S.(满量程)

SEC-500MK2

气体接触部材质

SUS-316、氟化橡胶

阀门类型

NO: 非通电时:开

标准流量量程

10/20 SLM

流量控制范围

5〜100% F.S.(满量程)

流量精度

±2.0% F.S.(满量程)

SEC-400MK3

气体接触部材质

SUS-316、氟化橡胶

阀门类型

NO: 非通电时:开

标准流量量程

10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM :空气.N2.O2.Ar.H2.He

流量控制范围

5〜100% F.S.(满量程)

流量精度

±2.0% F.S.(满量程)

SEC-500MK3

气体接触部材质

SUS-316、氟化橡胶

阀门类型

NO: 非通电时:开

标准流量量程

10/20 SLM :空气.N2.O2.Ar.H2.He

流量控制范围

5〜100% F.S.(满量程)

流量精度

±2.0% F.S.(满量程)

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