热感传感器,压力钝感质量流量计SEC-Z700系列

概要

SEC-Z700X系列配备热式传感器且具有压力不敏感性以实现稳定流量控制的气体质量流量控制器。其中前端的压力控制可减少气路系统的成本,尺寸及复杂度。

特征

  • 多气体/多量程解决方案

客户可更改气体的种类与满量程

  • 可变PID功能实现整个范围内的高速响应(1秒内)
  • 简化气路线

无需额外增加调节器,传感器,过滤器

  • 稳定控制气体流量,不受上游端及下游端的压力波动影响
  • 搭载进气压传感器
  • 多种展示
  • 确保 1% S.P.的精度
  • 超洁净设计 - 金属隔板,全部采用不锈钢SUS-316L,抛光面表面处理(标准)
  • 轻巧的尺寸

50SLM内相同的配件尺寸

  • 信号兼容

模拟式/RS485 数字式 , DeviceNet™模式

  • 联网功能

数字信号控制


制造: HORIBA STEC

产品相关图及其它

Dimensions of SEC-Z700X Series

测量技术

压力不敏感性

高效的性能可简化供气系统。
典型的多腔气路上的每一路气都会搭载一个调节器,压力传感器,过滤器以防止MFC因压力波动造成干扰现象。SEC-Z700X系列展不受上游端或下游端压力波动的影响稳定的控制气体流量。其不仅可以输出流量,更可输出温度,压力。

应用

  • 尖端半导体产业工艺

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