
真空/气体浓度计
HORIBA拥有多种不同类型的真空/气体浓度计。另外HORIBA可提供一款轻便小巧的电容压力计,由全金属材料制成以及温度自调功能,我们还提供一款微型的四级列阵原理残余气体分析仪。这些都是理想的真空腔体内工艺控制或分析的元器件。
In-line compact vapor concentration monitor, enables MOCVD precursor delivery to be stable.
Monitors SiF4 gas concentration in real time, and identifies the cleaning end-point based on SiF4 gas concentrations.