真空/气体浓度计

HORIBA拥有多种不同类型的真空/气体浓度计。另外HORIBA可提供一款轻便小巧的电容压力计，由全金属材料制成以及温度自调功能，我们还提供一款微型的四级列阵原理残余气体分析仪。这些都是理想的真空腔体内工艺控制或分析的元器件。

残余气体分析仪

小型工艺气体分析仪 MICROPOLE系统

小型工艺气体分析仪 MICROPOLE系统

世界上最小的完全的质谱仪系统

电容压力计

电容压力计 VG Series

电容压力计 VG Series

轻便小巧的全金属电容压力计，包含自动温度调节功能。

气体浓度计

Vapor Concentration Monitor IR-300

Vapor Concentration Monitor IR-300

In-line compact vapor concentration monitor, enables MOCVD precursor delivery to be stable.

IR-200

Gas Monitor for Chamber Cleaning End Point Monitoring IR-200

Monitors SiF4 gas concentration in real time, and identifies the cleaning end-point based on SiF4 gas concentrations.