Dünne Schichten
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- American Vacuum Society (AVS), November 6-11, Nashville, TN
- Materials Research Society (MRS) Fall, November 27-December 2, Boston, MA
Spektroskopische Ellipsometer
Die ellipsometrische Analyse liefert wichtige Informationen über die Materialeigenschaften, die weit über die bloße Schichtdicke und die optischen Konstanten hinausgehen, geben sie doch Auskunft über Anisotropie, Gradienten, Morphologie, Kristallinität, chemische Zusammensetzung und elektrische Leitfähigkeit.
Dank nicht rotierender Phasenmodulation oder Flüssigkristall-Modulation ermöglichen HORIBA Scientific’s Ellipsometer im höchsten Maße genaue und sensitive ellipsometrische Messungen in einem sehr weiten spektralen Bereich – von VUV bis NIR.
Produkte: UVISEL VIS: 210-880 nm | UVISEL FUV: 190-880 nm | UVISEL NIR: 245-2100 nm | UVISEL ER: 190-2100 nm | UVISEL VUV: 145-880 nm
Messung dünner Schichten und optischer Konstanten. Für Forschung und Prozessentwicklung.
Das UVISEL 2 VUV bietet die schnellste Schichtmessung über den größten Spektralbereich von 147 bis 2100 nm.
Stellen Sie Ihre Probe visuell dar und messen Sie dünne Schichten und optische Konstanten in wenigen Sekunden.
„Mit dem AutoSE tritt die Routinemessung in eine neue Ära ein.“
NEUER erweiterter NIR-Spektralbereich!
Vielseitiges spektroskopisches Ellipsometer, das Ergebnisse auf Forschungsniveau zu einem erschwinglichen Preis liefert.
