UVISEL 2 VUV

UVISEL 2 VUV – ein neues vielseitiges Ellipsometer für den VUV- bis NIR-Bereich

Das UVISEL 2 VUV, die neue Generation von phasenmodulierten spektroskopischen Ellipsometern, wurde für Messungen im VUV-Bereich konzipiert. Es ist das einzige System seiner Art, das eine extrem schnelle Analyse von Proben im Spektralbereich von 147 bis 2100 nm erlaubt.

Das UVISEL 2 VUV kann in zwei unterschiedlichen Messmodi operieren: unter Stickstoffatmosphäre oder unter Vakuum. Das mechanische Design wurde unter der Anforderung eines geringen Stickstoffverbrauchs (ca. 6 l/min) entwickelt und unterstützt einen schnellen Probenwechsel in weniger als 2 min durch den großen Frontport. Acht automatisch umschaltbare Spotgrößen lassen die optimale Anpassung an jeder Art von Proben zu.

Die Steuerung des UVISEL 2 VUV geschieht durch unsere bekannte Ellipsometrieplattform DeltaPsi2, die auch umfangreiche Methoden zur Auswertung ellipsometrischer Spektren bietet.