Trockenbeschichtung
HORIBA ist einer der weltweit größten Hersteller von Massendurchflussreglern für Gase und Flüssigkeiten. Wir bieten eine Reihe analoger, digitaler und Hochtemperatur-Massendurchflussregler sowie Steuerungs- und Abgabesysteme für die Prozessverdampfung von Flüssigkeiten am Verwendungspunkt.
HORIBA bietet Ihnen die für Ihren Erfolg an Beschichtungslinien unerlässliche Regelung für Prozesse wie chemische Gasphasenabscheidung (CVD), Atomlagenabscheidung (ALD), metallorganische chemische Gasphasenabscheidung (MOCVD), physikalische Gasphasenabscheidung (PVD), plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD) und Diamond Layer Coating (DLC). Wir bieten eine umfassende Palette an Fluidsteuerung und Prozessüberwachung für die Steigerung der Ausbeute, des Durchsatzes und des Werts Ihres Beschichtungsprozesses.
HORIBA bietet eines der kleinsten Quadrupol-Massenspektrometer der Welt, das die Arbeit bei viel höheren Drücken (1 Pa) als mit größeren herkömmlichen Systemen ermöglicht. Damit sinkt der Bedarf an zusätzlicher Pumpausrüstung.
Verwandte Produkte
Digital Mass Flow controller focuses on non-semiconductor applications. Has digital (PROFIBUS) /analog communications, 24 VDC power supply, high accuracy +/- 1.0% S.P. with high performance Solenoid Valve, and Multi Gas/Multi Range function for the nine most popular gases used in the applications
Compact process gas monitor using quadrupole mass spectrometer. Monitors trace gases, responds quickly to process shift . Easy to install and maintain.
Excellent Plasma Control over Reactive Sputtering.
The superb feedback control of the reactive gas flow in a reactive sputtering process helps you enhance product quality and achieve greater productivity by monitoring the plasma generated by sputtering or the voltage of the power supply for the sputtering process.