Flüssigkeitsquelle Verdampfung System
HORIBA bietet eine Vielzahl von Flüssigkeitsquelle Verdampfungssystemen , einschließlich drei Arten von Verfahren : Direkteinspritzung, gemischte Injektion und Backen. Unsere Produkte erfüllen die strengen Anforderungen der Halbleitermarkt, die kontinuierlich zu verbessern.
Wir verwenden einzigartige und modernste Mess- / Verdampfungs Prinzipien für unsere Produkte , wie zum Beispiel die Differenzdruck - Messverfahren, das Kühlverfahren für die flüssige Masse -Durchflussmesser, die HORIBA früher in diesem Geschäft entwickelt , oder der Tornado -Flow-Methode für eine gemischte Injection System. Es gibt eine Reihe von geeigneten Verdampfungssystemen und Massendurchflussregler in verschiedener Modelle für Sie zur Auswahl.
HORIBA hat auch flüssige Massendurchflussregler und Liquid- Massedurchflussmesser für Präzision und schnelle Reaktion digitalen Fluss.
Some Liquid Materials HORIBA Has Experience With
| Acetic Acid | Benzene | B(OCH3)3 | BTBAS | C6F6 |
| Cyclohexane | Decyl-TMOS | DPM | DPMS | Ethanol |
| Ge(OCH3)4 | GeCl4 | H2O | HCD | HDFDA |
| HMDS | HMDSO | i-Octane | IPA | Me-Cyclohexane |
| Methanol | n-Octane | OMCTS | OMTS | P(OCH3)3 |
| PO(OCH3)3 | SAM24 | Si(CH3)4 | Si(OCH3)4 | SiCH3Cl3 |
| SiCl4 | SiH(OCH3)3 | SiHCl3 | Ta(OC2H5)5 | TBTDETa |
| TDEAHf | TDEAT | TDMAS | TDMAT | TEB |
| TEMAHf | TEMAZr | TEOS | TEPO | THF |
| Ti(O-iPr)4 | TiCl4 | TMCTS | Toluene | 1,3-DMA |
Please contact us if you require vaporizing any liquid materials that are not listed above.
High stability, compact mixed injection vaporizer system using the new vaporization method, "tornado flow". Suitable for vaporizing liquid sources pyrolyzed easily.
Best-selling, compact baking system suitable for a range of liquid source delivery applications. Easy maintenance.
The compact vaporization system does not require carrier gas, it can be used with either a liquid or gas flow meter, allowing for easy integration for direct liquid injection.
Direct Injection (Carrier Gas Type)
Capable of large flow vaporization of hydrogen peroxide.
HORIBA's Award Winning Fluid Delivery System (FDM Series) has revolutionised the POCl3 diffusion process by developing a system to automatically deliver bulk liquid POCl3. This Auto Refill System achieves higher uptime, cost reduction, improved process stability and higher safety.
Automatic liquid refill system delivers chemicals directly to baking or direct liquid injection systems. Safe, efficient, and continuous supply of liquid sources.
The fast response digital flow meter using differential-pressure measurement method, response time: 100 msec ( or less than 0.8 sec when it is used in combination with a piezo valve).
High precision liquid mass flow controller using the sensor with a unique cooling method. Can control from micro-liter to ultra low flow rate.