Druckregler
HORIBA haben eine verschiedene Arten von Produkten , die den Druck in einer Gasversorgungsleitung zu steuern. Wir bieten den Druckregler , der einen digitalen Hochleistungs- Drucksensor und Piezoventil umfasst . Der Wafer -Kühlsystem verwendet Heliumgas die Hitzeschäden zu reduzieren. Der Abgasdruckregler hält ein einheitliches Niveau der Druck in einer Kammer . Diese Elemente tragen Verbesserung in Ihren Fertigungsprozess zu erhalten.
High performance auto pressure regulator with installed pressure sensor and piezo actuator valve. Digital/Analog and DeviceNet™ communications.
The fast response piezo actuator valves are equipped with metal diaphragms and metal O-rings.
The exhaust pressure controller maintains pressure within a chamber at any desired level. Equipped the high-resolution stepper motor and butterfly valve.
High stability and accuracy pressure controller for back side wafer cooling in semiconductor manufacturing, installed piezo actuator valve and pressure sensor.