Vakuum / Gas Monitor
Wir haben verschiedene Arten von Vakuum-und Gas -Monitore und Analysers für den Einsatz mit Restgas analyzation . Neben dem Kapazitätsmanometer , die kompakt ist , ganz aus Metall und hat eine Selbsttemperatureinstellung Funktion , bieten wir auch die ultra-kompakten Gasmonitor , der neun Quadrupol in Arrays für Restgasanalyse hat . Diese sind optimal für die Prozesssteuerung oder Analyse in einer Vakuumkammer.Unsere Dampfkonzentration Monitor ( IR -300) ist zuverlässig, leistungsstark und nichtdispersiven infrered Absorptiometry (NDIR) . Unsere Kapazitätsmanometer weist eine Kapazität Membran gage.
Compact process gas monitor using quadrupole mass spectrometer. Monitors trace gases, responds quickly to process shift . Easy to install and maintain.
In-line compact vapor concentration monitor, enables MOCVD precursor delivery to be stable.
Monitors SiF4 gas concentration in real time, and identifies the cleaning end-point based on SiF4 gas concentrations.