[G-LIFE Selbstdiagnosefunktion] Angebote intelligenter Gasplatten

Bei herkömmlichen MFCs ist es schwierig, Änderungen der Gasströmungsrate von der Alterung des Strömungsratensensors ergeb zu erkennen. Criterion Module verfügen über eine Selbstdiagnose-Funktion mit dem Namen "G-LIFE" für Gasgesetz Überprüfung des Integrierten Strömungsgleichung. G-Life wird aktiviert, wenn am Ende eines Flusslauf, der MFC eine 0% Befehl gegeben wird und das Upstream-Piezoventil schließt. Zu diesem Zeitpunkt wird das Gas in dem Volumen zwischen dem geschlossenen Ventilsitz und der Drosselkörper ausblutet. Die Masse, die dieses Volumen Blätter können zwei separate und einzigartige Art und Weise berechnet werden. Die erste Methode ist die berechnete Strömung von den Restriktor Gleichungen zu integrieren. Die zweite Methode ist das ideale Gasgesetz zu verwenden, um die Gastemperatur zu wissen, und das Starten und Druck des Volumens zu stoppen. Da beide Verfahren auf der gleichen Masse wirken das gleiche Volumen austritt, können die beiden Ergebnisse über die Zeit verglichen werden Probleme Komponente oder Sensor erfasst wird. Diese Selbstdiagnosefunktion ermöglicht es, eine systematische Wartung verhindert werden durchgeführt und der zufälligen Ausfall von Prozessgassteuer werden. Diese Massenstrom-Modulen und G-Life-Diagnose sind eine klare Art und Weise Advanced Equipment Control (AEC) Technologie zu üben.

 

more intelligent gas panels
  • Schließt das Ventil die Strömungsrate stromabwärts  des Ventils zu verringern. (1)
  • Wenn die obere Grenze des eingestellten Durchflussmenge  erreicht ist, liest die P1 ( a) Druck und beginnt Integration der Massendurchflussrate. (2 ) (3)
  • Wenn die untere Grenze des eingestellten Durchflussmenge  erreicht ist, liest die P1 ( b) Druck und beendet die Integration der Massendurchflussrate. (2 ) (3)
  • Berechnet das innere Volumen zwischen dem Ventil und der Strömungsdrosselstelle von der Druckänderung P (P = a -b) und das Integral des Massendurchflussrate   unter Verwendung der Zustandsgleichung für das Gas und die Gleichung für den Begrenzer (1) (2)
  • Macht ein Urteil durch das berechnete Innenvolumen mit dem gespeicherten Anfangsvolumen verglichen wird.

 

 

More intelligent gas panels