[Hohe Genauigkeit] Durchfluss Genauigkeit erreicht Verbesserungen durch neue Messmethode

CRITERION™ erreicht eine verbesserte Genauigkeit und eine bessere Gerät zu Gerät Wiederholbarkeit in Durchflussmessungen  , im Vergleich zu älteren Technologien MFCs , indem Sie auf Druckmessungen auf Basis Massenstrom zu bestimmen , anstatt die Temperaturmessungen Methoden historisch von früheren MFCs genutzt . MERKMAL ™ leitet die gesamte Gasströmung  durch einen spezialisierten kompressiblen laminaren Strömungselementgemessen werden. Es gibt keine geteilte Pfade zwischen einem Thermosensor und einem Strömungs Bypass wie in einem thermischen MFC . In den engen Durchgängen  des Fachströmungselement wird das Gas auf die Temperatur des Elements angetrieben Unsicherheiten in Messgastemperatur vermieden werden, die in sonic Ansätze gesehen wurden. Die neu entwickelte Drosseltechnikmuss nicht den kritischen Druck Bedingung erfüllen , P1 / P2 > 2 ist, erforderlich durch Schalldüse Ansätze konkurrieren. Als Ergebnis kann MERKMAL ™ im Vakuum und non Vakuumanwendungen verwendet werden.
Das Strömungselement ist absichtlich in der kompressiblen laminaren Strömungsregime zu arbeiten entworfen , die es eine positive und stabile Nichtlinearität gibt . Einfach gesagt, dauert es mehr Druckabfall  pro Einheit des Flusses bei niedrigen fließt , als es bei höheren Ströme tut. Diese nichtlineare Drossel Ergebnisse in einem MFC mit einem Prozent auf die prozentuale Endwertabweichung Charakteristik im Gegensatz Fehlercharakteristik Lesen in linearen thermischen MFCs gesehen , einen größeren Dynamikbereich mit hoher Genauigkeit Durchflussmessung  ermöglicht.
Um zu gewährleisten, und zu pflegen Genauigkeit in Prozessgasen , Horiba betreibt zwei Messlabor (Japan und USA) mit raffinierten Prozessgasmessmöglichkeiten  . Diese Labor der Maßnahme mehr als 50.000 Datenpunkte  pro Prozessgas auf mehreren Drosseln für jeden Prozessgas zu korrelieren , die die Beziehung zwischen Druck , Temperatur und Durchfluss. Diese Daten werden dann in einer einheitlichen Datenbank eingegeben , die verwendet wird, um die optimale Korrekturfunktion zu berechnen, die CRITERIONS™ 's N2 Werkskalibrierung genau auf Ihre Prozessgas Anwendung abbildet.

 

 

Flow rate accuracy improvements achieved by new measurement method

 

 

 

Flow rate accuracy improvements achieved by new measurement method