[Druckunempfindlichen Leistung] Neues Modul Gasleitungen zu vereinfachen

Einige Halbleiter Tools, Cluster -Tools verfügen über mehrere Kammern, die jeweils mit ihren eigenen Gas Panel. Typischerweise speist eine einzelne Gasversorgung diese mehrere Panels . Als Ergebnis führt die gleiche Gasleitung gleichzeitig mehrere MFC die Tür zu öffnen Übersprechen mit MFC . Übersprechen ist die Interaktion der mehrere MFC und ihre einzelnen Versorgungsregler . Die Gasförderdruck von einem Gasregler wird durch den Strombedarf von den MFCs betroffen. Wenn ein MFC einschaltet oder den Strombedarf zu den einzelnen Versorgungsregler Änderungen schaltet den Förderdruck auf alle MFCs verursacht Spike oder Droop . Der Durchflussmessabschnitt  in einem herkömmlichen MFC wird durch diese Versorgungsdruckschwankungen beeinflußt , was anzeigt, falsche Ströme, die Systemfehler zusätzlich nicht die Strömung aus dem MFC darstellen und insome Fällen verursachen Fehler zu fließen.
Das Design von CRITERIONTM stellt seine Messstrecke hinter seiner piezoelektrischen Steuerventil , das von den Versorgungsdruckschwankungen Pufferung und MFC Übersprechen zu beseitigen. Darüber hinaus enthält CRITERIONTMs seine eigene Versorgungsdrucksensor , der lokal auf dem Cover und aus der Ferne über die digitale Kommunikation gelesen werden kann. Als ergebnis kann der alte stand- alone Druckaufnehmern häufig auf herkömmliche gas sticks eliminiert werden.
CRITERIONTM Modul ermöglicht eine intelligente, leichte, leistungsstarke gas panel, ideal für die nächste generation von prozessen.

 

Pressure Insensitive

 

 

 

Pressure Insensitive

 

 

 

Pressure Insensitive