Veranstaltung
Beginn: 10/13/25
Ende: 10/16/25
Ort: Dresden
Besuchen Sie HORIBA auf der V2025 International Conference and Exhibition for Vacuum, Plasma, Surface and Coating vom 13.–16. Oktober 2025 in Dresden.
Wir präsentieren Ihnen innovative Lösungen zur Prozesskontrolle und -überwachung bei Vakuumprozessen wie Abscheidung und Plasmaätzen. Im Mittelpunkt stehen unsere hochpräzisen Massendurchflussregler, Verdampfer sowie Massenspektrometer zur Echtzeit-Gasphasenanalyse. Diese Systeme ermöglichen eine stabile und reproduzierbare Steuerung – insbesondere bei PVD-, CVD- und ALD-Verfahren. Für Plasmaätzprozesse bietet HORIBA zudem Optical Emission Spectroscopy (OES) und In-situ-Monitoring, um Etch-Endpoints exakt zu detektieren und die Ausbeute zu maximieren.
Als langjähriges EFDS-Mitglied und regelmäßiger Aussteller schätzen wir die V-Konferenz als zentrale Plattform für den Austausch mit Fachleuten aus Industrie und Forschung. Wir freuen uns auf den Dialog, neue Impulse aus der Plasmatechnologie und die Diskussion konkreter Anwendungsfragen – mit besonderem Fokus auf nachhaltige und energieeffiziente Prozesskontrolle.
Besuchen Sie unseren Stand auf der V2025 und entdecken Sie Lösungen wie den Optischen Emissionsspektroskopie-Ätzpunktmonitor EV-140C.
