Detección

La mayoría de los instrumentos ofrecen un policromador con el montaje de Paschen Runge para la medición simultánea de los elementos. Esto es obligatorio cuando el perfil de profundidad es la aplicación principal como en la mayoría de las aplicaciones de RF GD OES pulsada. La velocidad de arrancado es extremadamente rápida, las señales ópticas cambian rápidamente en el tiempo, requiriendo una detección ultra rápida.

Nuestros espectrómetros ópticos incluyen una nueva generación de las redes holográficas de HORIBA Scientific con una eficacia luminosa mejorada, destacadamente en la gama de VUV para H, O, N, Cl etc. y detectores HDD patentados.

Se puede también encontrar sistemas ópticos combinados con un monocromador agregado en complemento a los policromadotes. El monocromador, aporta flexibilidad, permitiendo acceder a cualquier longitud de onda y ofrece la posibilidad de medir cualquier elemento adicional con sensibilidad y alta resolución.

Los sistemas de CCD están también disponibles en HORIBA Scientific pero limitados a aplicaciones de análisis elemental o capas gruesas, ya que estos no tienen la velocidad requerida para la caracterización de películas delgadas.