
Ellipsomètres
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- American Vacuum Society (AVS), November 6-11, Nashville, TN
- Materials Research Society (MRS) Fall, November 27-December 2, Boston, MA
Ellipsomètres In-Situ et En-Ligne
Les ellipsomètres spectroscopiques in-situ permettent un contrôle en temps réel des dépôts et gravure des couches minces avec une résolution de l’ordre de l’angstrom. Ils fournissent en temps réel le calcul de l’épaisseur et des constantes optiques des couches minces.
Ellipsomètre spectroscopique en ligne pour les systèmes roll to roll
Dédié au contrôle in-situ des procédés en couches minces. Couvre la gamme spectrale 190-2100nm