Smart SE : Ellipsomètre Spectroscopique Polyvalent pour la Mesure des Couches Minces

Vue d'ensemble

Smart SE, un ellipsomètre qui combine haut niveau de fonctionnalités et prix avantageux

Le Smart-SE est un ellipsomètre polyvalent et rapide dédié à la mesure d’épaisseur et de constantes optiques (n,k) des couches minces sur la gamme de longueurs d’onde 450-1000nm.
Le Smart-SE intègre une sélection automatique de sept tailles de spot (de 75 à 1500µm), combinée à un système de vision permettant un placement précis du spot sur la zone à mesurer.

Le Smart-SE se décline en trois versions : manuelle, automatique et in-situ. La version manuelle est compacte et intégrée convenant à des applications simples. La version automatique permet des mesures multi-angles et de réaliser des cartographies pour analyser l’uniformité de la couche sur toute la surface de l’échantillon. La version in-situ s’adapte sur les chambres de dépôt pour un contrôle in-situ de la couche déposée.

Le Smart-SE est piloté par la plateforme logicielle DeltaPsi 2 intégrant une version recette pour des mesures routinières et une version scientifique pour de la caractérisation avancée des couches minces.

L’ellipsomètre Smart-SE répond aux besoins de caractérisation des couches minces dans les domaines du semiconducteur, du photovoltaique et de l’optoélectronique.


Fabriqué par HORIBA Scientific

Caractéristiques

Standard Configurations

Spectra range:

450nm to 1000nm

Spectra resolution

Better than 3nm

Light source

Combined Halogen and Blue LED

Measurement time

<1sec to 10 sec

Beam size

75µm * 150µm, 100µm * 250µm,

100µm * 500µm, 150µm * 150µm,

250µm * 250µm, 250µm * 500µm,

500µm*500µm

Angle of incidence

450 to 900 by step of 50

Sample size

Up to 200mm

Sample alignment

Manual 17mm height adjustement and tilt

Dimensions

100cm * 46cm * 23cm(W*H*D)

Performances

Straight-through air accuracy

Ψ=450±0.050 Δ=00±0.20

Thickness accuracy on 1000 Å Oxide

0.04%

Thickness repeatability on 1000 Å Oxide

±0.02%

Options

  • Automated angle of incidence from 450 to 900 by step of 0.010
  • Motorized stage for 200mm and 300mm sample sizes
  • In-situ adjustable flanges for mounting on process chamber
  • Heating and cooling stages
  • Liquid and electrochemical cells
  • Cross hair auto-collimation system

Support Documents

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