UVISEL 2 VUV

Vue d'ensemble

L’ellipsomètre le plus rapide pour la mesure sous vide des couches minces sur la gamme spectrale 147 - 2100 nm

L’UVISEL 2 VUV est une nouvelle génération d’ellipsomètre à modulation de phase dédiée à la mesure des couches minces sous vide. L’UVISEL 2 VUV est le seul ellipsomètre sur le marché conçu pour offrir, les mesures les plus rapides sur la gamme spectrale 147 - 2100 nm.

L'UVISEL 2 VUV est un ellipsomètre hybride, capable de fonctionner dans deux modes : sous azote ou sous vide primaire (5.10-2 mbar). Sa conception mécanique est optimisée pour une faible consommation d'azote, environ 6L/min, et permet un chargement rapide des échantillons. En deux minutes, l’ellipsomètre est opérationnel et prêt à mesurer. La mesure d'un échantillon se fait en moins de 8 minutes sur la gamme 147 - 850 nm, avec un excellent rapport signal sur bruit.

L'UVISEL 2 VUV révolutionne le monde des ellipsomètres VUV en réduisant considérablement la consommation d'azote, le temps de purge de la chambre et le temps de mesure d’un échantillon.

L’UVISEL 2 VUV est piloté par le logiciel DeltaPsi 2, qui offre de nombreuses fonctions d’acquisition, de modélisation, de recettes automatiques et de génération de rapport d’analyse. L’interface utilisateur est intuitive et adaptée aux besoins de la recherche ou de l’utilisation industrielle.

L’UVISEL 2 VUV offre une vitesse de mesure inégalée et de faibles coûts d’utilisation pour la caractérisation des couches minces sur une large gamme spectrale de 147 à 2100 nm. Il peut également être adapté et entièrement automatisé pour les besoins de la production industrielle.

Fonctions

  • Chargement rapide des échantillons
  • Système de purge rapide
  • Faible consommation d'azote
  • Mesure ultra rapide
  • Deux modes de fonctionnement : sous azote ou sous vide primaire

Fabriqué par HORIBA