Ellipsomètres

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Système de Vision de l’Auto SE

L’Auto SE intègre un système unique et breveté de système de vision MyAutoView, monté directement à l’intérieur des têtes ellipsométriques.

MyAutoView permet à l’opérateur de voir en temps-réel le spot de mesure sur l’échantillon, quelque soit l’échantillon, afin de s’assurer que la mesure est faite exactement à l’endroit choisi avec la bonne taille de spot.

L’image a un champ de vision d’environ 1 mm2 et une résolution de 10µm.

Dans de nombreux cas, le système de vision apporte des avantages considérables.

Types d’échantillon

Avantages du système de vision MyAutoView

Examples

Echantillon à motifs

Visualisation directe du spot de mesure sur la zone du motif.

Echantillon ayant des spots déposés sur la surface

Visualisation directe du spot de mesure sur l’échantillon permettant d’optimiser la zone à mesurer.

Echantillon à substrat transparent

- Sélection directe de la réflexion face avant
- Calcul du pourcentage de réflexion face arrière pour les cas où la réflexion face arrière ne peut être éliminée

Echantillon rugueux, inhomogène (poussière, rayure)

Visualisation directe du spot de mesure sur l’échantillon permettant d’optimiser la zone à mesurer.

Echantillon microstructuré

Visualisation directe du spot de mesure sur l’échantillon pour caractériser le trait de 0.8 mm.

Echantillon cylindrique ou ayant une forme sphérique

Visualisation directe de la surface plane pour un positionnement du spot sur cette zone. L’image sur la droite montre que le spot de mesure n’est pas idéalement positionné, et est encore sur la partie sphérique.

Echantillon placé à l’intérieur d’accessoires tels que cellule liquide, thermostatée…

Positionnement simple du spot de mesure sur l’échantillon, placé à l’intérieur de la cellule (liquide dans cet exemple).