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プラズマを分光で可視化し制御に活用する

 プラズマの代表的な例は”炎”です。よく知られているように、燃えている物質の種類によって炎の色が変わります。つまりプラズマの色(波長)を測定することで、プラズマの状態(何の物質が発光しているのか)がわかります。物質の発光は単に一色の発光をするわけではなく、いろいろな色(波長)の集まりです。例えば、蛍光灯の発光も水銀のプラズマを利用したものですが、水銀は365nm(紫外光)、404nm(紫)、546nm(緑)、579nm(オレンジ)などの色が集まっています。その他にも弱い発光がたくさん発生しますが、物質固有の発光パターンを持ちます。
 様々な産業で活用されているプラズマですが、ガスの成分、濃度、温度、圧力等々の各種条件により状態が変化します。そこで加工処理をより安定化させるために、プラズマの発光状態を可視化して最適化を図ることが求められています。

EV-140Cによる計測可能プラズマ波長範囲

プラズマ技術のご紹介

              ここでは堀場エステックがご提案するプラズマ技術をご紹介します。
               プラズマを可視化することで下記のようなモニタが可能です。