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C

   

マスフローコントローラカスタムユニット

マスフローコントローラカスタムユニット

変換アダプタ

D

            

瞬時流量指示計

瞬時流量指示計

表示ユニット

E

          

排気圧コントローラ

プラズマ発光モニタ

F

             

フロースプリッタ

G

      

ウェハ裏面圧力制御システム

I

装置搭載型非接触放射温度計

設置・組込みタイプ非接触放射温度計

ハンディタイプ非接触放射温度計

チャンバクリーニング終点検知用ガスモニタ

ガス濃度モニタ

チャンバクリーニング終点検知用ガスモニタ

L

液体微小デジタルマスフローコントローラ

小型液体流量計

小型液体流量計

液体材料自動供給システム

大流量ベーパライザ

液体材料気化システム

M

                    

コンパクトプロセスガスモニタ

  

液体材料気化システム

2成分ガス混合装置

多成分ガス混合装置

マスフローチェッカ

O

      

ポータブル水素発生器

P

          

ピエゾバルブ

多機能制御ユニット

制御ユニット

モニタユニット

専用電源

R

プラズマエミッションコントローラ

S

          

標準ガス分割器

信号ケーブル

高精度精密膜流量計

設定ユニット

T

標準物質校正システム

       

テストガス発生システム

U

デジタルオートプレッシャーレギュレータ

V

         

キャパシタンスマノメータ

小型液体流量計 流量センサ

小型液体流量計 流量センサ

液体材料気化システム

液体材料気化システム

X

     

液体デジタルマスフローメータ

                                   

GR-300 Series

                                                      

LU Series

                  

IR-300 Series

                                                     

VG-200 Series

VG-200 Series

                              

                                       

FS-3000 Series

                                                     

DU-1000 Series

SC-E Series

                                                                

OPGU Series

 

                                                                    

PE-D20

PE Series

                                       

VC Series

LE Series

MU-3000 Series

PE-S7 Series

                 

MU-2000

 

                

EC Series

                                     

PV Series

TE-1000 Series

SDG-SC Series

DU-103K/DU-102E

ふ 

                       

RU-1000

EV-140C Series

                                                           

CA-E Series