
Analysis based on
フッ酸濃度モニタ <HF-960H>
概要
高濃度域のフッ酸・塩酸などの測定に最適
HF-960Hは、半導体製造プロセスなどに使用されるフッ酸・塩酸濃度を高精度に測定します。専用センサのFES-510シリーズは耐薬品性の高い材質を使用していますので、高濃度域のフッ酸・塩酸管理として最適な構造です。
耐薬品性に優れたセンサ採用
特長
- ワイドレンジ対応
- 表示レンジ自動切替
- HF濃度・HCl濃度・導電率・温度の4種類の測定が可能
- DC24V電源
- RoHS対応品
製造会社: HORIBA Advanced Techno
仕様
形式 | HF-960H |
|---|---|
周囲使用温湿度 | 温度:-5~45℃、湿度:20~85%(結露しないこと) |
電源 | DC24V ±10% 10W(max) |
保護構造 | パネル部:IP65、リヤケース:IP20、端子部IP00(パネル取付屋内設置型) |
質量 | 約550g |
適合規格 | CEマーキング、FCC Part15 |
適合センサ | FES-510シリーズ(流通型カーボンセンサ) |




