Analysis based on
液体微小デジタルマスフローメータ/コントローラ LF-F/LV-F Series
概要
冷却測定方式の質量流量センサーを搭載した液体用マスフローコントローラ&メータです。
冷却測定方式のセンサー搭載により、センサー部での加温を行わないため、低蒸気圧材料から純水など幅広い液体の流量計測制御が行えます。
流量制御部には、デッドボリュームが無いメタルダイヤフラム構造のバルブを搭載し、µリッター/分レベルの微量流量を正確に精度良く流量制御が行えます。専用の気化器との組み合わせにより、純水や液体材料の気化(ガス化)システムが構築できます。
特長
- デジタル回路の採用により、高精度・高速応答が実現
- マイクロリッターからの微小流量制御が可能
- 低沸点液体材料、高粘度液体材料の精密流体制御が可能
- ウルトラクリーン対応
- RoHS指令対応
製造会社: HORIBA STEC
仕様
名称 | マスフローメータ | ||||
---|---|---|---|---|---|
型式 | LF- | LF- | LF- | LF- | LF- |
フルスケール流量(g/min) | 0.02/0.05/0.1 | 0.2/0.5 | 1/2/5 | 10/20 | 50/100 |
測定制御範囲 | 5〜100% F.S. | ||||
対象液種 *1 | HCl.HF等のステンレスを腐蝕する液体を除く | ||||
液体粘度 *2 | Max. 0.1 Pa·s (100cp) | ||||
精度 *3 | ±1% F.S. | ||||
直線性 *3 | ±0.5% F.S. | ||||
繰返性 *3 | ±0.5% F.S. | ||||
応答精度 | 3秒以内 (T98) | 2秒以内 (T98) | |||
使用可能周囲温度 *4 | 5〜50℃ (推奨温度15℃〜45℃) | ||||
温度影響 スパン | ±0.1%F.S./℃ Max±1% | ||||
動作差圧 *5 | Max. 5MPa (マスフローメータ単体の場合) | ||||
耐圧 | 10MPa (as flow meter) | ||||
圧力損失 *6 | Max. 500Pa | ||||
流量設定信号 | アナログ:0.25〜5 VDC (入力インピーダンス1MΩ以上) | ||||
流量出力信号 | アナログ:0〜5 VDC (最小負荷抵抗2kΩ) | ||||
駆動電源 | +15 V ±5%, 200 mA -15 V ±5%, 200 mA | ||||
外部リーク規格 | 5×10-12Pa·m3/s (He) | ||||
接液部材質 | SUS316L, Ni | ||||
標準継手 | 1/16 , 1/8 スウエージロックタイプ, 1/8 VCR タイプ | 1/8 スウエージロックタイプ, 1/8 VCR タイプ | 1/4 スウエージロックタイプ, 1/4 VCR タイプ |
名称 | マスフローコントローラ | ||||
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型式 | LV-F20 | LV-F30 | LV-F40 | LV-F50 | LV-F60 |
フルスケール流量(g/min) | 0.02/0.05/0.1 | 0.2/0.5 | 1/2/5 | 10/20 | 50/100 |
測定制御範囲 | 5〜100% F.S. | ||||
対象液種 *1 | HCl.HF等のステンレスを腐蝕する液体を除く | ||||
液体粘度 *2 | Max. 0.01 Pa·s (10cp) | ||||
精度 *3 | ±1% F.S. | ||||
直線性 *3 | ±0.5% F.S. | ||||
繰返性 *3 | ±0.5% F.S. | ||||
応答精度 | 3秒以内 (T98) | 2秒以内 (T98) | |||
使用可能周囲温度 *4 | 5〜50℃ (推奨温度15℃〜45℃) | ||||
温度影響 スパン | ±0.1%F.S./℃ Max±1% | ||||
動作差圧 *5 | 0.05〜0.3MPa | ||||
耐圧 | 1MPa | ||||
圧力損失 *6 | Max. 30kPa | ||||
流量設定信号 | アナログ:0.25〜5 VDC (入力インピーダンス1MΩ以上) | ||||
流量出力信号 | アナログ:0〜5 VDC (最小負荷抵抗2kΩ) | ||||
駆動電源 | +15 V ±5%, 200 mA -15 V ±5%, 200 mA | ||||
外部リーク規格 | PO : 1×10-8Pa·m3/s (He) | ||||
接液部材質 | PO : SUS316L, Ni, PTFE, PFA MO : SUS316L,Ni | ||||
標準継手 | 1/16 , 1/8 スウエージロックタイプ, 1/8 VCR タイプ | 1/8 スウエージロックタイプ, 1/8 VCR タイプ | 1/4 スウエージロックタイプ, 1/4 VCR タイプ |
*1:LF-F/LV-F Seriesは、1種類の液体で流量校正されています(使用液体をあらかじめご指定ください。)
・固体物を含んだ液体は測定できません。
・混合液で混合比が変化する場合はあらかじめご相談ください。
・LV-F Seriesは、対象液体に粒子等含まれる場合、0.2μm(Abs.)以下のフィルターを一次側(入口側)に取り付けてください
*2:LF-Fタイプでは流量レンジにより max, 0.1Pa·sまで対応可能です。粘度の高い液体についてはあらかじめご相談ください。
*3:SEMI E56-1296 準拠
*4:計測・制御を行う液体温度が、周囲温度より低い場合はその差を10℃以内、また液体温度が高い場合は3℃以内でのご使用をお願いします。
*5:粘度0.001Pa・sにおけるF.S.流量値での値です。
*6:粘度0.001Pa・sの液体をフルスケール流量で流した時の最大圧力損失です。
アプリケーション
幅広い産業でご使用いただいています
- 各種生産装置への搭載:半導体、液晶、LED、太陽電池、パワー半導体、光ファイバー、コーティング
- 一般産業:雰囲気ガス制御
- 研究・開発:各種ガスセンサー性能評価機器、触媒性能評価機器、バイオ関連評価機器、燃焼器具性能評価機器
- ラボ:各種実験用ガス流量制御機器
アクセサリ
マスフローコントローラ/メータ(MFC/MFM)やオートプレッシャーレギュレータ(UR)と各種専用制御・駆動機器をコネクターにより接続する専用の信号ケーブルです。