品質管理

フォトルミナーDはシリコン中の微量不純物分析用途を目的として開発されました。

The PHOTOLUMINOR-S has been designed for R&D in many applications and provides high performance and easy operation.   High-sensitivity measurement is important for detecting weak photoluminescence...

先端マスク検査の大幅コストダウンを実現

高い稼働率と長期にわたる安定性を誇るレティクル・マスク異物検査装置PDシリーズ。その高性能機能を継承し、さらにS/N比を3倍以上向上、実用感度を大幅に向上させて、シリーズ最新機種HORIBA...

高スループットで効率的な異物検査・測定を実現。高い稼働率と長期にわたる安定性など、数々の高性能・高機能で多くの半導体製造現場で高く評価されているHORIBAのレティクル/マスク異物検査装置PDシリーズ。長期安定稼動する搬送系、高スループットなどの高性能機能を継承し、さらに独自に開発した信号処理方式により、シリーズ最高感度、最小0.35μmの微細異物検出を可能にしたのが、このレティクル/マスク異物検査装置PR-PD2です。各種のステッパーケースに対応する最大...

A range of fiber optic coupled Raman probe heads for remote analysis. Suitable for immersion and high temperature/pressure conditions.

10μmの革命！真空チャンバ（デュアル・バキューム・チャンバ）装備によりサンプル形態・分析目的に合わせ、分析環境を切替、軽元素の高感度分析が可能！高純度Si半導体検出器搭載。

ラマン顕微鏡XploRA　PLUSは、高い操作性を持つ、共焦点顕微ラマン分光装置です。コンパクトなボディにラマン分析で必要な機能を凝縮しました。サブミクロンスケールの空間分解能を持ち、ポイント分析だけでなく、モータステージとの組み合わせによりマッピング測定が可能です。