薄膜制御・分析

信頼性の高いサーマルセンサ、ソレノイドバルブを搭載したアナログマスフローコントローラ。10SCCMから200SLMまでのワイドレンジコントロール。

サーマルバルブ搭載の高安定性アナログマスフローコントローラ

微少流量から大流量計測に対応したソレノイドバルブ搭載のマスフローメータ

サーマルバルブ搭載、マスフローメータのベーシックモデル

新気化方式のトルネードフロー方式による高効率気化を実現した小型の液体材料気化システムです。低温度での安定気化が可能です。

気液混合気化方式を採用した小型液体材料気化システム。液体材料の高効率気化を実現。

マルチレンジ/マルチガス機能を搭載したデジタルマスフローコントローラのベストセラーモデル。±1.0%S.P.の高精度、フルレンジ1秒以内の高速応答、5SCCMから500SLMのワイドレンジで、幅広いプロセスに貢献。

ラベルフリー生体分子間相互作用解析装置 OpenPlex は、細胞、タンパク質、ペプチド、核酸などの生体試料から薬物などの低分子化合物まで、あらゆる分子間の相互作用をラベルフリーかつハイスループットで解析する装置です。

メタルダイヤフラム、メタルO-リングを内蔵した高速応答ピエゾアクチュエータ―バルブ

微少流量から大流量制御に対応したソレノイドバルブ搭載のマスフローコントローラ