Sub23nm固体粒子数測定装置 MEXA-2000SPCS New Lineup

将来規制に向けたSub 23 nm粒子計測ニーズに応え、ご好評いただいているMEXA-2000SPCSシリーズに新ラインナップを追加!

概要

UNECE/GRPE/PMPを中心に、従来の規制では計測対象外であった粒子径23 nm未満(以下Sub 23 nm)の粒子数規制が検討されています。

2017年1月11日 74th UNECE GRPE sessionにてPMPが提案したドラフト仕様に対応
フルトンネル、マイクロトンネル、ダイレクト計測すべての用途にお使いいただけます。

お客様の将来規制対応への開発をサポートします。

Sub 23 nm粒子数計測のポイント

①粒径10 nmから2.5 μmまでの粒子数をリアルタイム計測
検出可能な粒子径の下限(D50)を10 nmに拡張

②揮発性粒子の再凝縮防止と測定誤差低減
Hot Catalytic Stripperの酸化反応による除去効率アップ

製品の詳細はカタログをご覧ください


製造会社: HORIBA

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