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長年に渡り数多くの導入実績を誇る異物分析装置「PR-PDシリーズ」。
レティクル/マスクの異物撮像データの自動取り込み機能、検出異物のサイズ測定機能、レティクル端面を保持するエッジハンドリングなどの新しい機能が加わった「PR-PD3 Pro」を紹介します。

Application

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リソグラフィ

パネルデータ

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PR-PDシリーズ

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RP-1

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