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薄膜の研究開発・品質管理においては、膜厚・元素分布などが重要な管理項目となります。
非接触で膜厚や屈折率を分析できる分光エリプソメータや、薄膜中の元素分布を深さ方向に分析できるグロー放電発光表面分析装置などの薄膜評価手法をはじめ、シリコン中酸素分析・異物分析装置などを紹介します。

Application

アプリケーション

R&D / Quality Control

薄膜評価 / 元素分析 / 異物分析

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