SEMICON Japan 2022 HORIBAバーチャル展示会

Lab to Fab HORIBA All Around

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展示ソリューション

HORIBA独自の制御・計測・分析ソリューションでLabからFabへ全方位でのご提案

流体制御

ガス流量制御による装置間のばらつきを削減し、歩留まりを向上させたい。

薬液濃度モニタリング

薬液に接液することなく、非接触で安全にコンタミのリスクなく薬液濃度の測定を行いたい。

フォトマスク異物検査

レティクル/ブランクス/ペリクルに付着した異物を迅速に測定&除去したい。

膜厚・異物評価

金属薄膜の膜厚やICパッケージ内の不良原因を評価したい。

チャンバー状態監視

プロセス結果に影響のある残留ガスを確認し、歩留まり・稼働率を向上させたい。

エンドポイント検出

プラズマプロセスのエンドポイントやプラズマの分布制御により、生産性を向上させたい。

ファシリティ管理

毎日手洗浄が必要な現場で、メンテナンス負荷や試薬量を低減し、排水のpH値を安定して測定したい。

トピックス

次世代モビリティへの技術革新を担う研究施設HIMaC2のオープニング式典を開催

東京大学と社会連携講座を開設

JAXAが募る国際研究公募において、堀場テクノサービスが採択研究プロジェクトに共同研究機関として参画

高い水分濃度でも前処理不要の直接測定で、高精度・高分解能を実現 水素ガス測定装置「HyEVO」を発売

ホリバ・フランス社がグレーティング生産拠点を本格稼働

水素・新エネルギービジネスの 新施設「HORIBA eHUB」のオープニング式典を開催

ホリバ・ヨーロッパ社、大気環境及びガス計測装置の生産拠点を約2倍に拡張

堀場エステック 阿蘇工場が熊本県SDGs登録事業者として登録