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Dry Process

半導体製造プロセスチャンバにおける計測・制御技術

パネルデータ

関連カタログ

サーマル式マスフローモジュール
SEC-Z700S Series

関連カタログ

差圧式マスフローモジュール
D500 Series

関連カタログ

サーマル式マスフローコントローラ
SEC-Z500X Series

関連カタログ

ミックスドインジェクション
MV-2000 Series

関連カタログ

ウェハ裏面圧力制御システム
GR-300 Series

関連カタログ

ガスモニタ
IR-300 Series

関連カタログ

ガスモニタ
IR-400 Series

関連カタログ

コンパクトプロセスガスモニタ
MICROPOLE System

関連カタログ

キャパシタンスマノメータ
VG-200 Series

関連カタログ

非接触放射温度計
IT-470F-H

半導体デバイスの温度計測 / プラズマ状態の分析・プロセス管理

パネルデータ

関連カタログ

非接触放射温度計
IT-480 Series

関連カタログ

プラズマ発光モニタ
EV-140C Series

Wet Process

Wet Processを支えるHORIBAの新開発

パネルデータ

関連カタログ

非接触型薬液濃度モニタ
CS-900

関連カタログ

半導体WETプロセス分析装置
(薬液濃度モニタCSシリーズ)

関連カタログ

溶存酸素モニタ / センサ
HD-960L / DO-100

関連カタログ

微量サンプリング pHモニタ
UP-100

Utility / Wastewater

ユーティリティから排水までSmart Factoryに向けたモニタリングアプリケーション

パネルデータ

Ultra Pure Water 関連カタログ

溶存酸素モニタ / センサ
HD-960L / DO-100

Wastewater Treatment 関連カタログ

工業用光学式溶存酸素計
H-1シリーズ

パネルマウントタイプ 水質計測器
48/96シリーズ

アンモニア態窒素計
HC-200NH

自動校正機能付pH計
AH-151

自動全窒素・全りん測定装置
TPNA-500

自動COD測定装置
CODA-500

Wet Process / Central Chemical Supply System 関連カタログ

半導体WETプロセス分析装置
(薬液濃度モニタCSシリーズ)

微量サンプリング pHモニタ
UP-100

低濃度HF/HCI/NH3濃度モニタ
HF-960M

レーザー回折/散乱式粒子径分布測定装置
Partica LA-960V2(特長・仕様)

レーザー回折/散乱式粒子径分布測定装置
Partica LA-960V2
(アクセサリ・アプリケーション)

ナノ粒子解析装置
nanoPartica SZ-100V2

Reclaim 関連カタログ

濁度計
HU-200TB-IM

Laboratory 関連カタログ

水質計
LAQUAシリーズ

Lithography

リソグラフィ

パネルデータ

パネルデータ

関連カタログ

PR-PD3 Pro(English)

関連カタログ

半導体/FPD異物検査装置
PR-PDシリーズ

関連カタログ

パーティクルリムーバ
RP-1

R&D

結晶欠陥 / キャリア寿命 / 不純物 / 応用評価

パネルデータ

関連カタログ

カソードルミネッセンス装置

関連カタログ

AFMラマン装置
XploRA Nano

関連カタログ

顕微ラマン分光装置
LabRAM HR Evolution

関連カタログ

蛍光寿命測定装置
DeltaFlex

R&D / Quality Control

薄膜評価 / 元素分析 / 異物分析

パネルデータ

関連カタログ

分光エリプソメータ
UVISEL Plus

関連カタログ

グロー放電発光表面分析装置
GD-Profiler2

関連カタログ

酸素・窒素・水素分析装置
EMGAシリーズ(特長)

関連カタログ

酸素・窒素・水素分析装置
EMGAシリーズ(仕様)

関連カタログ

微小部X線分析装置
XGT-9000

関連カタログ

光沢計
IG-340

HORIBA Core Technologies

コア技術展示

電気化学計測

電気化学計測展示

関連資料

イオン選択膜・pHガラス電極

光計測

光計測展示

関連資料

グレーティング(回析格子)

関連資料

サーモパイルセンサ

関連資料

赤外用光学フィルタ

流体計測制御

流体計測制御展示

関連資料

サーマル式流量センサ

Smart Mobility

次世代車両開発サポート/IoTへの取り組み/ワークスタイル変革への対応

パネルデータ

関連カタログ

AUTOMOTIVE TEST SYSTEMS
コンセプトブック 2019

関連カタログ

HORIBA MIRA会社概要

関連カタログ

HORIBA FuelCon
総合カタログ

会社案内・総合カタログ

カタログ

Corporate Profile 2019

カタログ

HORIBA Report 2018

カタログ

HORIBA STEC会社案内

カタログ

堀場アドバンスドテクノ会社案内

カタログ

Answer to SEMICONDUCTOR Industry

カタログ

AUTOMOTIVE TEST SYSTEMS
コンセプトブック 2019

カタログ

HORIBA STEC予算申請カタログ

カタログ

予算申請カタログ

関連カタログ

半導体/ディスプレイ産業向け総合カタログ

関連カタログ

電子デバイスWETプロセス

カタログ

計測機器ダイジェスト

カタログ

Analytical System Integration
(各種環境システム紹介カタログ)

関連カタログ

水処理用計測システム

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