高精度TMAH濃度モニタ <HE-960H-TM-S>

概要

半導体・液晶プロセスで用いられるフォトレジスト現像液の主成分であるTMAH濃度を高精度に測定します。専用の耐薬センサをラインナップしています。

特長

  • 高精度:繰り返し性 ±0.003wt%以内
  • ワイドレンジ
    濃度:0 - 3%、導電率: 0 - 1000 mS/cm
  • 表示レンジ自動切り替え機能
  • TMAH濃度、導電率、温度の3種類の測定が可能
  • 耐薬品性カーボンセンサ採用
  • DC24V電源
  • RoHS対応品

製造会社: HORIBA Advanced Techno

仕様

型式

HE-960H-TM-S

薬液種

TMAH

測定範囲

濃度: 0 - 3%, 導電率: 0 - 1000mS/cm

繰り返し性

+/- 0.003wt%以内 (温度変動幅+/-0.5℃以内、導電率等価入力にて)

直線性

+/- 0.003wt%以内 (温度変動幅+/-0.5℃以内、導電率等価入力にて)

伝送出力

4点

接点出力

5点

通信出力

RS-485

電源仕様

24V DC +/- 10% 10W

適合センサ

FES-510 Series

センサ接液部材質

GC, PFA, Karletz®

外形寸法図・他(単位:mm)

HE-960H-TM-S外形寸法図

カタログ

製品別シリーズカタログ

薬液濃度モニタ 5機種ラインアップ

分野別シリーズカタログ

電子デバイス WETプロセス計測機器


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