非接触型薬液濃度モニタ CS-900

概要

次世代のウェットプロセスへー HORIBAは薬液濃度管理で歩留まり向上・プロセスの最適化へ貢献します。

半導体製造工程における厳しい薬液濃度管理に対応するため、安定した測定精度、作業の安全性を考慮した独自の配管保持構造、コンパクトデザインなど、現場ニーズに最適な高機能化を果たしています。

特長

完全非接触かつ高安定性を実現

PFA配管へダイレクトに外付けする独自のセンサ構造によりコンタミリスクが"ゼロ"になります。また、センサ取り付け時における配管施工等が不要になり、薬液漏れなどの事故のリスク削除をもたらします。さらに、センサの光学系を一新することで従来製品(CS-600F※1)と同等の再現性、安定性を有しながら、小型化を実現しました。

高品質かつ安定した測定

  • コンタミリスク"ゼロ"
  • 従来製品CS-600F※1と同等の再現性、安定性
  • 液温変化によるモニタ指示値変化を補正で緩和
  • 気泡影響を補正するHORIBA独自のアルゴリズムを採用

振動影響の抑制

  • HORIBA独自の配管保持&位置ズレに強い光学系構造の採用

省スペース化

  • 光源・分光器をセルユニットに一体化
  • 表示部はパネルマウントタイプを採用(9.6cm x 9.6cm)

光源の長寿命化

  • LEDランプ採用により長寿命化を実現(5年保証)

作業安全性の向上

  • 半年毎のBG補正周期
  • センサ取り付け時における配管施工等が不要のため、薬液漏れなどの事故リスクを削減

※1 CS-600FはHORIBAの光ファイバ式薬液濃度モニタです

光ファイバーを使用しない光学設計とアンプ・センサの小型化により設置レイアウトの自由度が向上

薬液(20℃~80℃)のダイレクト・安定測定を実現

■安定性

測定条件
測定周期:3秒毎 測定時間:1時間
移動平均:16回 温度:室温 配管径:3/4インチ
サンプル濃度(測定開始時)
NH3:0.95% H2O2:5.15% H2O:93.9%

測定結果
サンプル(実液)を1時間測定した結果、良好な安定性を示しました。

簡単取り付け、取り外しが可能


製造会社: HORIBA Advanced Techno

仕様

製品名

非接触型薬液濃度モニタ CS-900

型式

CS-900

測定原理

吸収分光法

濃度算出手法

温度補償型多変量解析法

測定範囲・
再現性制度
(単位 mass%)

型式名

成分名

測定範囲

再現性精度

アナログ出力範囲

CS-900-1P-1P25P5

NH3

0.00%-1.20%

±0.05%

0.00-10.00

H2O2

0.00%-5.50%

±0.10%

0.00-10.00

H2O

93.3%-100.0%

 ±1.0%

     -

CS-900-1P-P8P8

NH3

0.20%-0.80%

±0.03%

0.00-1.00

H2O2

0.20%-0.80%

±0.03%

0.00-1.00

H2O

98.4%-99.6%

±0.3%

     -

測定条件

1) 測定周期:約3秒
2) 移動平均:16回

配管※1

PFA配管1インチもしくは3/4インチ

試料液条件※2

薬液温度:20~80℃
薬液温度変化、周囲温度変化±1℃以内(1時間)
入力圧力:0.2MPa(G)以下
圧力変化:0.02MPa以下

電源

DC24V

消費電力※3

約30W

質量

表示器:約0.9Kg
センサーユニット:約2.9Kg

外形寸法(W×D×H)

表示器:96×135×96 mm
センサーユニット※4:238×140×146 mm

センサーユニット設置角度

前後方向:±3度以内、左右方向:0~90度

光源寿命

5年

通信取り合い

パラレルI/O、RS-232C、アナログ出力

※1静電防止タイプは不可。
※2試料液が流れていない状態では気泡影響で正しく測定できない場合があります。
※3起動時の過渡的電流は除く。
※4突起部除く。

カタログ

製品カタログ

分野別シリーズカタログ

WETプロセス分析装置


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