リン酸濃度モニタ <HE-960H-PA>

概要

リン酸濃度モニタ HE-960H-PA は半導体エッチングプロセスで使用されるリン酸(リン酸単液)(濃度:80-90wt% 温度:20-100℃以内)の濃度をモニタリングすることができます。

ガラスカーボンセンサを採用、高濃度での分極影響を極力抑え、リン酸単体濃度で80-90wt%の濃度測定が可能です。

特長

  • 半導体エッチングプロセスのリン酸濃度モニタリング
  • プロセスモニタリング用途に最適
    4ch 伝送出力(アナログ)を用意
    5ch 接点出力を用意
    デジタル出力 RS485を用意
  • ガラスカーボン電極採用(適応センサ:FES-510シリーズ)
    高濃度リン酸濃度を精度よく測定

製造会社: HORIBA Advanced Techno

仕様

製品名

高濃度リン酸濃度計

型式

HE-960-PA

測定範囲

リン酸濃度  80-90wt%

伝送出力

4点

通信出力

RS-485

電源

定格電圧 DC 24V 10W(max.)

外形寸法

96(W) mm x 96(H) mm x 115(D) mm 


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