光ファイバ式熱リン酸濃度モニタ CS-620F

概要

冷却不要で高濃度・高温リン酸のリアルタイム測定を実現!

高温リン酸を使用する3D NAND製造工程におけるSiN層エッチングプロセスなどに最適です。

特長

  • 最大92%までの高濃度リン酸の測定が可能
  • 循環ラインの高温リン酸(140-170℃)を冷却せずダイレクトに測定できるため、冷却機構および冷却時間が不要
  • サンプル接液部にPFAを採用、コンタミネーションリスクを低減
  • 半年毎のバックグラウンド補正周期を採用、装置ダウンタイムの大幅削減に貢献
  • 3秒毎の測定データ更新により、濃度フィードバック制御の高速化に貢献

■ 安定性

▶測定結果 サンプル(実液)を1時間測定した結果、良好な安定性を示した。

▶測定条件
測定周期 : 約3秒毎  測定時間 : 1時間 移動平均 : 16回
サンプル濃度(測定開始時) H3PO4 : 92.2%  H2O : 7.8% サンプル温度 : 141℃


製造会社: HORIBA Advanced Techno

仕様

製品名

薬液濃度モニタ

型式

CS-620F

測定原理

吸収分光法

濃度算出原理

温度補償型多変量解析法

測定対象

H3PO4/H2O

測定範囲・
再現性精度

成分名

測定範囲(mass%)

再現性精度(mass%)

アナログ出力範囲(mass%)

第1薬液

H3PO4

85.00-92.00

+/-0.10

85.00-100.00

H2O

8.0-15.0

+/-0.3

0.0-15.0

・再現性精度は平均値からの最大誤差(1時間)で規定しています。
・同一薬液での薬液温度範囲(140-170 ℃)において最大 +/- 0.3 %の絶対指示値差が生じることがあります。

測定条件

1) 測定間隔:約3秒
2) 移動平均:16回

接続継手サイズ

1インチもしくは3/4インチ

測定液条件

薬液温度:140-170 ℃
薬液温度変化、周囲温度変化±1℃以内(1時間)
入力圧力:0.2MPa以下
圧力変動:0.02MPa以下
流量: 1-30 L/min

計装エア(オペレーション、パージ兼用)

取り合い: 外径4 mmクイック継ぎ手
圧力: 0.2 MPa ± 0.02 MPa

電源

100-230 V AC(Single-Phase)、50/60 Hz

消費電力

約85 VA( 起動時の過渡的電流は除く)

通信取り合い

パラレルI/O、RS-232C、アナログ出力

外形寸法

(モニタ本体) 200(W) X308(D) X78(H)mm(突起部を除く)
(光源ユニット) 200(W) X262(D) X100(H)mm(突起部を除く)
(サンプルセル) 240(W) X209(D) X205(H)mm(突起部を除く)

質量

(モニタ本体) 約 3.6 kg
(光源ユニット) 約 2.8 kg
(サンプルセル)約 3.0 kg

設置温度

(モニタ本体、光源ユニット共通) 20-30℃
(光ファイバ、サンプルセル) 20-100℃
※急激な室温変化なきこと、 ± 1 ℃以内/1時間

設置相対湿度

40-70 %(結露なきこと)

設置傾き角度

(モニタ本体、光源ユニット共通) ± 1°以内
(サンプルセル)気泡が滞らないようアップフローとなるよう設置してください

光ファイバ

標準長さ5 m、最小曲げ半径150 mm

カタログ

製品カタログ

分野別シリーズカタログ

WETプロセス分析装置


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