半導体ファシリティ

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超純水

不純物を極限まで減らし、限りなくH2Oに近づけた高純度の水。超純水は、半導体デバイスやFDP(フラットパネルディスプレイ)の洗浄工程、発電用タービンの蒸気発生器など、様々な用途に利用されています。そして、この超純水は、脱塩やイオン交換、複数の膜処理など、多くの工程を経て製造されます。HORIBAでは、超純水の製造や純度管理に必要となる高精度な計測器をご用意しています。

半導体/FPDプロセス向超純水管理用高感度シリカモニタ

半導体用パネルマウント 48/96 シリーズ

  • 形式
  • 測定範囲
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  • HE-480R(W)0-100.0MΩ・cm(温度補償前)
  • HE-960R-GC0-100.0MΩ・cm(温度補償前)
    ※接続センサ数 1ch対応
  • HE-960RW-GC0-100.0MΩ・cm(温度補償前)
    ※接続センサ数 2ch対応

半導体工場排水処理

半導体生産プロセスの中では水が使用され、使用された水は工場から排出されます。そして、半導体工場からの排水は、河川・湖沼・海水等の水環境に大きな影響を与えるため、適切な処理・管理が必要です。また、その排水は有機系排水と無機系排水があり、それぞれ処理方法は異なります。HORIBAは多様な排水に対応できる計測器、センサのラインアップで排水処理に貢献します。

自動全窒素・全りん測定装置

自動COD測定装置

水質汚濁負荷量演算器

有機性汚濁物質測定装置

自動校正機能付pH計

レーザー走査式 油膜検知器

油分濃度計

油分濃度計

超音波式汚泥界面計

現場測定設置 H-1シリーズ

  • 形式
  • 仕様
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パネルマウント 48/96シリーズ

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LAQUA

HORIBAの技術を集約させた水質計ブランド。卓上型・ポータブル型・コンパクト型をラインアップ。ラボから現場まで、あらゆる場面・用途であなたのニーズに寄り添います。

Knick

ドイツ発祥の世界的老舗ブランド。耐高温・耐高圧・耐薬性、自動校正・自動洗浄機能、デジタルセンサ技術を誇り、あなたの現場をアシストします。

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