TMAH用導電率計 <HE-960TM>

概要

現像液TMAHの濃度管理に最適
TMAH用導電率計 HE-960TMは、半導体・液晶プロセスで用いられるフォトレジスト現像液の主成分である、TMAH (Tetra Methyl Ammonium Hydroxide)溶液の導電率を高精度に測定します。
専用センサのFES-120Niは、ワイドなレンジ幅を備え、さらに耐薬性の高い構造ですので、TMAH測定に最適です。

特長

  • ワイドレンジ
  • インライン測定
  • 自動温度補償
    鉛フリーはんだを採用

製造会社: HORIBA Advanced Techno

仕様

型名

HE-960TM

測定方式

電極式

電源

定格電圧100〜 240VAC 50/60Hz 10VA(max)

保護構造

パネル部:IP65(IEC60529,JIS C0920)

適合規格

CEマーキング、FCC規則

外形寸法

96(W)×96(H)×115(D)
ケース奥行:約105mm(パネルマウント時)

質量

約500g


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