従来のMFCでは流量センサの経時的な変化によるガス流量の変化を確認する事は困難でした。CRITERIONTMでは流量計測用圧力センサの経時的変化を自己診断し実ガス流量の変化を診断する機能：G-LIFE機能を搭載しました。この自己診断機能：G-LIFEは、流量制御バルブがクローズした後、任意の流量以下になるまでの圧力センサ出力を積分し、その状態から圧力センサ、ガス流路部の状態を確認する機能です。圧力・時間より気体の状態方程式を用いて内部容量を算出します。算出した内部容量と初期設定時の内部容量を比較し自己診断を行います。流量制御バルブが流量制御状態からクローズした後の状態を計測しますので供給圧力の影響を受けず、数秒以内に自己診断が行えます。まさに次世代プロセスに不可欠な機能としてCRITERIONTMに搭載しています。この新機能の活用により、計画的なメンテナンスが行えると共に偶発的なプロセスガス制御不良を未然に防ぐ事が出来ます。そして現在注目されているAEC(Advanced Equipment Control)技術を切り開くマスフローモジュールです。
・バルブを閉じバルブ以後の流量を低下させる。(1)
・設定流量上限に達したときにＰ１(a)の圧力を確認すると共に質量流量の積分計算を開始する。(2)(3)
・設定流量下限に達したときにＰ１(b)の圧力を確認すると共に質量流量の積分計算を終了する。(2)(3)
・気体の状態方程式とリストリクタの方程式を用いて、△Ｐの圧力変化量(△Ｐ=a-b)と流量積分値よりバルブ⇔フローリストリクタ間の内容積を計算する。(1)(2)
・計算した内容積と記憶されている初期容積と比較し判断する。
