ガスパネルでは同種ガスを複数ラインへ分岐するデザインが採用されています。この為ガス流量制御を行うMFC間のクロストーク現象やレギュレータ特性により供給圧力が瞬時に変動する現象が生じます。従来のMFCではこの瞬時の供給圧力変動に対し、流量制御に無関係な流量を検出し不安定な流量出力を製造装置に出力、この要因によりシステムエラーを発生するケースがありました。CRITERIONTMはこの対策として、コントロールバルブの下流部に流量計測部を設置するデザインを採用し、供給圧力の瞬時変動の影響を受けずに安定した流量制御を実現しています。また個々のプロセスガスにおいて最適な供給圧力が有ります。このためガスパネルではガスライン毎に圧力センサが不可欠とされています。CRITERIONTMでは供給圧力を計測する圧力センサを搭載し、本体ディスプレイにより供給圧力等を容易に確認できます。本体通信ラインからも圧力を確認することができ、圧力センサを省いたシンプルなガスラインが構築できます。CRITERIONTMのガスパネル搭載により、コンパクト・軽量化・インテリジェント化されたガスパネルが実現します。まさに次世代ガスパネルに対応したマスフローモジュールです。
