京都福知山テクノロジーセンター

堀場エステックは、HORIBAグループ半導体セグメントのリーダーとして、1974年の設立以来コア技術として育んだ「流体の計測・制御技術」を追求し続けています。特に最先端の半導体プロセスにおいては、様々な特性を持つ「ガス」や「液体・固体材料」が用いられるため、正確な流量を計測し制御する事が必要です。京都福知山テクノロジーセンターでは、国際標準である国際単位系(Système international d'unités:SI)にトレーサブルなガス流量の一次標準器を開発し運用しています。今後はこの一次標準器を用いて社内の流量標準体系を確立し、新製品開発や生産製品へと展開し、確かな流量計測技術に基づいた信頼性の高い計測・制御機器を提供してまいります。

ハイテク産業はじめ幅広い産業を支える流体計測・制御技術

Key Technology

  • 精密流体計測・制御技術
  • 材料気化供給技術
  • 圧力制御技術
  • 真空測定技術
  • ガスモニタリング技術
  • プロセスマネジメント技術
  • 精密重合・連続重合技術

 

Products

流体計測・制御技術

液体材料気化システム

圧力制御装置

真空計測・ガスモニタ装置

標準ガス発生装置

プラズマ制御装置

ガス発生・精製装置

精密混合装置・応用システム

プロセスガスの流量計測

大型恒温槽内部に、高度に内容積を値付けされた計測チャンバーシステムと計測対象となる流量制御機器(Mass Flow Controller : MFC)を設置し、計測チャンバーの圧力上昇値と上昇時間を正確に計測し、プロセスガスの流量計測を行います。このプロセスガス流量計測システムで計測した流量値をベースとして、高精度なプロセスガスの流量制御が行えるMFCの生産を行っています。詳細はこちら

プリカーサ気化試験システム

常温では液体や固体である材料(プリカーサー)の気化試験システムにおいては、十分な安全対策と共に気化ガスの状態を確認する必要があります。加熱された気化ガスを精度良く計測できる高温対応の流量計測システムや気化ポイントでの詳細な状態を計測するハイスピードカメラなどを実験フード内に設置し万全な除害設備のもと各種試験が行える体制を整えています。

主な設備
  • 高温対応の流量計測システム
  • 気化試験用制御ユニット
  • 液体流量測定設備
  • ハイスピードカメラ:1台
  • 実験フード:8台
  • ドラフトチャンバー:3台
  • 除害装置:熱酸化型除害装置、特殊材料に対応した乾式除害装置

精密重合技術・連続重合技術

新分野でのアプリケーション拡大を目指し、高付加価値の高分子化学材料(ポリマー)の開発を行っています。そのひとつに、次世代の半導体リソグラフィ技術へと展開が期待される特殊化学材料の研究を行っています。この特殊化学材料は微細パターニング技術に対応する誘導自己組織化材料と呼ばれ、製造には水分と酸素の除去が重要な精密重合技術が必要です。特性の異なる材料を分子レベルで正確に重合できる技術を強みとして、半導体・医用分野をはじめとした最先端分野の発展に欠かせない基礎研究を行っています。