キャリアガスを用いて、液体材料タンク内の液体を気化する方式です。多様な産業の生産設備や研究開発機器において、純水やアルコールなどの液体を気化（ガス化）する方式として長年にわたって使用されています。近年では、LED生産設備にも採用され、液体の気化装置の方式として認知されています。

HORIBA STECは、ガスセンサや触媒の研究・評価用テストガス発生システム、太陽電池生産用設備にはバブリング方式を搭載した装置を生産し、長時間の安定発生や発生濃度の可変を行うロジックをノウハウとして蓄積。また、LED生産設備搭載用にインラインガス濃度モニタの製品化を行い、バブリング方式を採用した液体の気化装置を総合的にサポートしています。

液体材料を素早く均一な温度に制御

▶バブリングタンクを独自に設計。液温センサと加温ヒータの最適レイアウトにより、カスケード方式を用いたスピーディな温度制御が可能です。

▶設定温度以上に加熱されることを回避するため、安全対策として自動的にヒータを切断する安全回路と温度ヒューズを用いたセキュリティ機能を標準装備しています。

発生圧力、バブリングタンク内部圧力を最適圧力に制御

〜HORIBA STECが開発した製品搭載で最適調整〜

▶発生部にデジタル制御の圧力制御機器を搭載。正確でスピーディな圧力制御を実現しています。

▶デジタル制御のマスフローコントローラが、キャリアガスの正確な流量制御を実現します。

一定濃度の気化ガスを連続発生

▶発生濃度の低下を防ぐため、液体材料の気化量に応じた液温制御を実現。発生濃度を直接計測するインラインガス濃度モニタもラインアップしています。

使用方法に応じた最適設計の製品を提供

▶お客様が使用される液体材料や気化濃度、気化流量に応じた最適設計が可能。設計検証時にCAEを用いたシミュレーション・解析を行い、完成度の高い製品をご提供します。

▶キャリアガスを液体材料内でスピーディに飽和状態にする泡発生部を開発。効率の良い気化ガスの発生と、バブリングタンクのコンパクト化に貢献しています。

IT産業を支える半導体/液晶パネル/光ファイバー製造プロセスにおいて、多数採用されている液体材料の気化方式です。高純度な液体材料の気化ガス流量を、精度よく連続発生できる機器として採用されています。

半導体製造装置では、液体材料気化システムのコンパクト化への要求が高まり、これらのニーズに対応した直接気化方式が多数採用されています。キャリアガスや液体材料の流量制御部には自社製のマスフローコントローラ/メータを採用。お客様のご要望に応じたHORIBA STECならではのシステムをラインアップしています。