デバイスネット対応デジタルマスフローコントローラ2機種を開発

2000年12月 4日


300mmウェハ、0.13μmの次世代半導体に対応するデバイスネット対応デジタルマスフローコントローラ2機種を開発!

マスフローコントローラ(以下MFC)は半導体プロセスガスの制御を行うため、ほとんどの半導体プロセスで使用されています。
しかし、近年生産性向上を目的とした300mmウェハへの転換、更なる高密度、微細化のため、高性能、高機能、小型化のMFCの要求が高まっています。
エステックではこれらの市場要求に対応した次世代デジタルMFC SEC−Z10D/V20Dseriesの開発を行いました。
SEC−Z10Dseriesは、制御部にピエゾバルブを採用した高品位機種であり、SEC−V20Dseriesは、ソレノイドバルブを採用した普及版モデルとなります。
エステックは、世界で初めてデジタルMFCを開発した実績があり、これまで数多くの実績を残しています。これらの豊富な経験を生かしSEMIの国際規格に準拠したDevice-Net MFCの開発を行いました。
SEMIの国際規格では、この他にも通信規格が登録されていますが、現在のところDevice-Net規格が最右翼と目されています。
デジタル機能により、アナログMFCでは不可能であった以下の新機能を実現しています。
本件に関するお問い合わせは、お気軽に弊社まで御連絡下さい。