米国ベンチャー企業と技術・販売提携を締結

2003年6月30日


株式会社エステック(社長:堀場 厚、本社:京都市南区上鳥羽鉾立町11-5)は、このほどフガシティ社(FuGasity Corporation)が生産する、圧力センサを搭載したマスフローコントローラ(以下MFC)、流量校正システムをはじめとした、全ての製品に対する製造権、全世界を対象とした独占販売権および有形・無形資産譲渡に関する契約を締結しました。これにより当社が世界市場で強みを持つ、半導体・液晶プロセスにおけるマスフローコントローラのシリーズ化が拡充され、最先端プロセスへ多様なソリューションを提供できるように成ります。当社の販売網と堀場製作所のグローバルネットワークを活用し、今後ますます拡大が期待される半導体・液晶市場への展開をはかります。
当社は、圧力センサを用いて流体の精密流量計測を行う技術では、世界トップクラスの技術を有する米国の“フガシティ社”(以下、フガ社)との間で、下記契約に関しこのほど基本合意し調印を行いました。

「お互いの要素技術を融合し、共同開発を行う技術提携」
「同社全ての製品に対する製造権」
「全世界的に独占販売を行える販売権」
「同社が所有する有形・無形資産の譲渡に関する契約」

今回のフガ社との提携は、当社のMFCの拡充ならびに半導体・液晶プロセスにおけるソリューションを提供するうえで有益です。近年、最先端の半導体プロセスでは“微細化”“多層化”をはじめとする新技術の導入に対応する新しいプロセスが開発されています。この次世代システムに向けて、一部のプロセスでは、当社が持つサーマル式流量センサ方式ではなく、圧力センサを搭載したMFCの要求も有ります。全ての最先端プロセスへ、最先端技術で迅速に提供する当社としては、フガ社との提携を次世代の半導体プロセスへの対応策と位置づけ先行投資を行いました。

半導体・液晶プロセスにおいて、当社はMFCで世界トップシェアと確固たる地位を築いています。フガ社の持つ高い技術と製品をラインアップに加え、当社の販売網と堀場製作所のグローバルネットワークを活用し、この得意とする分野でさらなる市場拡大を狙って行く方針です。


<ご参考>

  • FuGasity Corporationの概要
    米国 ネバタ州に本社を置く圧力・流体計測機器を取り扱うベンチャー企業(設立:2001年)です。
    事業分野としては、半導体・液晶産業向けに、独自開発を行った流体抵抗体を搭載した圧力センサ搭載のMFCや圧力センサを応用した流量校正システムの製品化に成功しました。
    社長:Christopher Davis
    住所:605 Spice Island Dr. #5 Sparks, NV 89431


フガシティ社が取り扱う主な製品群

  • 圧力センサ搭載のマスフローコントローラ
    MFC本体のガス流路に圧力センサ、差圧を発生させる抵抗体および流量制御バルブを内蔵しています。MFCへ導入されたガス圧と、抵抗体を通過した後のガス圧を内蔵した圧力センサに計測し、MFCを通過するガス流量へ変換します。一方外部より入力される流量設定値(電気信号)とMFCが計測した流量とがイコールと成るよう、内蔵した流量制御バルブが自動的に流量制御を行います。
  • 流量校正システム
    マスフローコントローラ、パージメータをはじめとする各種のガス流量計の流量校正を行うシステムです。本体に内蔵しているガスタンクに任意に流量設定を行った一定量のガスを導入します。ガス導入時の圧力と停止時の圧力、時間を計測し流量計が制御した流量値を正確に計測します。


当社が生産するマスフローコントローラ概要

  • サーマル式流量センサ搭載のマスフローコントローラ
    MFC本体のガス流路に流量センサ、バイパスおよび流量制御バルブを内蔵しています。流量の計測は、流量センサを通過するガス量に比例した温度変化をとらえ、流量を計測します。一方外部より入力される流量設定値(電気信号)とMFCが計測した流量とがイコールと成るよう、内蔵した流量制御バルブが自動的に流量制御を行います。
  • 成膜プロセスでのソリューション(流体計測・制御のプロセス)
    成膜プロセスに欠かすことのできないチャンバー周辺の機器をラインアップすることにより、成膜プロセスの高精度化、歩留まり向上などへのソリューションが拡がります。