マスフローコントローラ:SEC-4401シリーズ開発

2000年12月19日


アナログ・マスフローコントローラの最高峰!ベストセラーモデルに新機種追加!
◎高速応答;全流量域1sec ◎ゼロ点安定性;±20mV/年(Typ)
によりスループットの向上に貢献!

マスフローコントローラ(以下MFC)は、半導体製造プロセスにおけるガス制御を目的として、ほとんどの半導体プロセスで使用されています。
近年 生産性向上、低コスト化を目的とした300mmウェハへの移行、半導体の高性能化を目的としたプロセスの高密度、微細化が進められるようになり、その結果 半導体プロセスのキーパーツであるMFCについても、更なる高精度化、高速化が望まれるようになりました。
エステックでは、これらの市場要求に答えるために高信頼性MFC SEC−4401seriesの開発、発売を行いました。
SEC−4401seriesは、エステックのベストセラー機種であるSEC−4400seriesの応答性、長期安定性を向上させたモデルです。
全域応答高速化を目的としたウルトラクイックスタートの採用により、ガス導入時間の短縮の結果、プロセス時間の短縮が可能となり、スループットの向上が見込めます。
また、長期安定性の向上により、お客様の定期点検や定期メンテナンス延長が可能となり、生産性の向上や長期的な高精度の確保が可能となります。
これにより、今 半導体関連で要求されている生産性の向上やコスト低減に対して大きな効果が期待できます。
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