LF-F/LV-F Series

Digital Liquid Mass Flow Meters Controllers LV-F series

液体微小デジタルマスフローメータ/コントローラ

冷却測定方式の質量流量センサーを搭載した液体用マスフローコントローラ&メータです。
冷却測定方式のセンサー搭載により、センサー部での加温を行わないため、低蒸気圧材料から純水など幅広い液体の流量計測制御が行えます。
流量制御部には、デッドボリュームが無いメタルダイヤフラム構造のバルブを搭載し、µリッター/分レベルの微量流量を正確に精度良く流量制御が行えます。専用の気化器との組み合わせにより、純水や液体材料の気化（ガス化）システムが構築できます。

事業セグメント: Semiconductor

製品分類: Fluid Control

製造会社: HORIBA STEC, Co., Ltd.

デジタル回路の採用により、高精度・高速応答が実現
マイクロリッターからの微小流量制御が可能
低沸点液体材料、高粘度液体材料の精密流体制御が可能
ウルトラクリーン対応
RoHS指令対応

外形寸法

LF-F Series

Model	H	T	W	I *1	I *2	I *3	I *4	I *5	I *6	A	B	C	D	E
LF-F20M-A	112	30	55	106	105	94	99	87	89	5	65	5	20	17
LF-F30M-A	112	30	55	106	105	94	99	87	89	5	65	5	20	17
LF-F40M-A	112	30	55	106	105	94	99	87	89	5	65	5	20	17
LF-F50M-A	112	30	55	106	105	94	99	87	89	5	65	5	20	17
LF-F60M-A	112	30	55	106	105	94	99	87	89	5	65	5	20	17

*1：1/4 VCR
*2：1/4 スウェージロック
*3：1/8 VCR
*4：1/8 スウェージロック
*5：1/16 スウェージロック
*6：1/16 Special

LV-F Series

Model	H	T	W	I *1	I *2	I *3	I *4	I *5	I *6	A	B	C	D	E
LV-F20 (PO/MO)	112	30	86	137	136	125	130	118	120	5	96	5	20	17
LV-F30 (PO/MO)	112	30	86	137	136	125	130	118	120	5	96	5	20	17
LV-F40 (PO/MO)	112	30	86	137	136	125	130	118	120	5	96	5	20	17
LV-F50 (PO/MO)	112	30	86	137	136	125	130	118	120	5	96	5	20	17
LV-F60 (PO/MO)	112	30	86	137	136	125	130	118	120	5	96	5	20	17

*1：1/4 VCR
*2：1/4 スウェージロック
*3：1/8 VCR
*4：1/8 スウェージロック
*5：1/16 スウェージロック)
*6：1/16 Special

※外形寸法図面につきましては、別途ご依頼ください。
※記載している継手は、相当品を使用する場合があります。

名称	マスフローメータ
型式	LF- F20M-A	LF- F30M-A	LF- F40M-A	LF- F50M-A	LF- F60M-A
フルスケール流量(g/min)	0.02/0.05/0.1	0.2/0.5	1/2/5	10/20	50/100
測定制御範囲	5〜100% F.S.
対象液種 *1	HCl.HF等のステンレスを腐蝕する液体を除く
液体粘度 *2	Max. 0.1 Pa·s (100cp)
精度 *3	±1% F.S.
直線性 *3	±0.5% F.S.
繰返性 *3	±0.5% F.S.
応答精度	3秒以内 (T98)		2秒以内 (T98)
使用可能周囲温度 *4	5〜50℃ (推奨温度15℃〜45℃)
温度影響スパン	±0.1%F.S./℃　Max±1%
動作差圧 *5	Max. 5MPa (マスフローメータ単体の場合) 0.05〜0.3MPa (ピエゾバルブ制御の場合)
耐圧	10MPa (as flow meter)
圧力損失 *6	Max. 500Pa
流量設定信号	アナログ：0.25〜5 VDC (入力インピーダンス1MΩ以上) デジタル：RS485 (F-Netプロトコール)
流量出力信号	アナログ：0〜5 VDC (最小負荷抵抗2kΩ) デジタル：RS485 (F-Netプロトコール)
駆動電源	+15 V ±5%, 200 mA　-15 V ±5%, 200 mA
外部リーク規格	5×10^-12Pa·m³/s (He)
接液部材質	SUS316L, Ni
標準継手	1/16 , 1/8 スウエージロックタイプ, 1/8 VCR タイプ			1/8 スウエージロックタイプ, 1/8 VCR タイプ	1/4 スウエージロックタイプ, 1/4 VCR タイプ

名称	マスフローコントローラ
型式	LV-F20 (PO/MO)	LV-F30 (PO/MO)	LV-F40 (PO/MO)	LV-F50 (PO/MO)	LV-F60 (PO/MO)
フルスケール流量(g/min)	0.02/0.05/0.1	0.2/0.5	1/2/5	10/20	50/100
測定制御範囲	5〜100% F.S.
対象液種 *1	HCl.HF等のステンレスを腐蝕する液体を除く
液体粘度 *2	Max. 0.01 Pa·s (10cp)
精度 *3	±1% F.S.
直線性 *3	±0.5% F.S.
繰返性 *3	±0.5% F.S.
応答精度	3秒以内 (T98)		2秒以内 (T98)
使用可能周囲温度 *4	5〜50℃ (推奨温度15℃〜45℃)
温度影響スパン	±0.1%F.S./℃　Max±1%
動作差圧 *5	0.05〜0.3MPa
耐圧	1MPa
圧力損失 *6	Max. 30kPa
流量設定信号	アナログ：0.25〜5 VDC (入力インピーダンス1MΩ以上) デジタル：RS485 (F-Netプロトコール)
流量出力信号	アナログ：0〜5 VDC (最小負荷抵抗2kΩ) デジタル：RS485 (F-Netプロトコール)
駆動電源	+15 V ±5%, 200 mA　-15 V ±5%, 200 mA
外部リーク規格	PO : 1×10^-8Pa·m³/s (He) MO : 5×10^-12Pa·m³/s (He)
接液部材質	PO : SUS316L, Ni, PTFE, PFA　 MO : SUS316L,Ni
標準継手	1/16 , 1/8 スウエージロックタイプ, 1/8 VCR タイプ			1/8 スウエージロックタイプ, 1/8 VCR タイプ	1/4 スウエージロックタイプ, 1/4 VCR タイプ

*1：LF-F/LV-F Seriesは、1種類の液体で流量校正されています(使用液体をあらかじめご指定ください。)
・固体物を含んだ液体は測定できません。
・混合液で混合比が変化する場合はあらかじめご相談ください。
・LV-F Seriesは、対象液体に粒子等含まれる場合、0.2μm(Abs.)以下のフィルターを一次側(入口側)に取り付けてください
*2：LF-Fタイプでは流量レンジにより max, 0.1Pa·sまで対応可能です。粘度の高い液体についてはあらかじめご相談ください。
*3：SEMI E56-1296 準拠
*4：計測・制御を行う液体温度が、周囲温度より低い場合はその差を10℃以内、また液体温度が高い場合は3℃以内でのご使用をお願いします。
*5：粘度0.001Pa・sにおけるF.S.流量値での値です。
*6：粘度0.001Pa・sの液体をフルスケール流量で流した時の最大圧力損失です。