液体デジタルマスフローメータ XF-100 Series

概要

差圧方式の採用により、100msecの高速応答を実現した液体用マスフローメータです。
(ピエゾバルブと組み合わせた場合は0.8秒以内)
センサー部を加温していないため、溶存ガスの再放出(気泡)の影響を受けることなく、正確な流量計測が可能です。熱分解しやすい液体材料に対してもダメージを与えることがありません。  
専用の気化器、キャリアガスの流量制御用マスフローコントローラの組合せにより、液体材料の気化(ガス化)システムを構築できます。

特長

  • 圧力センサ方式の採用により、100msecの高速応答を実現。
    (ピエゾバルブと組み合わせた場合は0.8秒以内)
  • 高速化により、流量が安定するまでの時間が短縮され、液体材料の使用量の低減に貢献します。
  •  ±0.8%F.S.の高精度を実現(当社従来製品比20%向上)
  •  ウルトラクリーン対応
  •  RoHS指令対応

製造会社: HORIBA STEC

外形寸法図・他(単位:mm)

XF-100 Series外形寸法図

測定原理

差圧測定方式

XF-100 Seriesの流量計測(差圧式測定方式)は、フローリストリクタの前後に配置された圧力センサの圧力差を検出し、ハーゲン・ポワズイユの法則を用いて流量に換算しています。
センサ部に熱源がないため、溶存ガスの再放出(気泡)の影響を受けることなく、正確な流量計測が可能であり、熱分解しやすい材料にもダメージを与えることなく流量計測が可能です。また、従来品のLFシリーズを継承したスルーフローデザインにより、気泡
が滞留しない構造です。

アクセサリ


制御ユニット PE-D20
コンパクトボディに使用頻度の高い機能を集約した制御ユニットです。前面パネルからの操作が行えます。
制御ユニット PE-D10
マスフローメータ専用のモニタユニットです。
専用電源 PEシリーズ
マスフローコントローラ・マスフローメータやオートプレッシャーレギュレータの駆動電源及びアナログ制御時の設定基準電圧:5VDCを供給するアクセサリです。
表示ユニット DU-103K・DU-102E
流量・圧力信号(0〜5VDC)をデジタル表示するユニットです。
信号ケーブル SC Series
マスフローコントローラ/メータ(MFC/MFM)やオートプレッシャーレギュレータ(UR)と各種専用制御・駆動機器をコネクターにより接続する専用の信号ケーブルです。
変換アダプター CA-E Series
他社製MFCから弊社製MFCへの変更時にご使用頂く場合の変換アダプタです。

価格は仕様により異なりますので、別途お見積もりいたします。
「見積・資料・お問い合わせ」よりお申し込みください。尚、製品によりましては代理店をご紹介させていただくことがございます。

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