液体材料を希望どおりに気化するためには、その材料特性や気化条件により最適な気化システムが必要です。HORIBA STECは「バブリング方式」「ベーキング方式」「直接気化方式」という3種類の気化方式を採用し、目的に応じた総合的なシステムとしてご提案。お客様の多岐にわたるご要望に的確にお応えします。
特殊な液体材料も正確に安定して気化でき、様々な用途や条件に応じたシステムが提案できます。
| 名称 | 化学式 | 毒性 | 可燃性 | 腐食性 | 用途 |
|---|---|---|---|---|---|
| 純水 | H2O | - | - | - | |
| テトラエトキシシラン (TEOS) | Si(OC2H5)4 | ○ | ○ | - | 半導体の絶縁膜 |
| メタノール | CH3OH | ○ | ○ | - | カーボンナノチューブ(CNT)の生成 |
| エタノール | C2H6O | ○ | ○ | - | カーボンナノチューブ(CNT)の生成 |
| トリメチルガリウム | TMGa | ○ | ◎※ | - | LEDの発光層成膜 |
| トリエチルガリウム | TEGa | ○ | ◎ | - | LEDの発光層成膜 |
| トリメチルアルミ | TMAl | ○ | ◎ | - | LEDの発光層成膜 |
| ジエチル亜鉛 (DEZ) | Zn(C2H5)2 | ○ | ◎ | - | 太陽電池やタッチパネル等の 透明導電膜(TCO)成膜 |
| ヘキサメチルジシロキサン (HMDSO) | (CH3)3SiOsi(CH3)3 | ○ | ○ | ○ | タッチパネル等の ハードコート(HC) |
| トリクロロシラン (TCS) | SiHCl3 | ○ | ○ | ○ | エピタキシャル成長/シリコン製造 |
| テトラ-i-プロポキシチタン (TTIP) | Ti(i-OC3H7)4 | ○ | ○ | ○ | タッチパネル等の 反射防止膜(ARC) |
| オキシ塩化リン | PoCl3 | ○ | - | ○ | 結晶系太陽電池の発電層 |
| 四塩化チタン | TiCl4 | ○ | - | ○ | 工具等のチタンコーティング |
| 四塩化ケイ素 | SiCl4 | ○ | - | ○ | 光ファイバー等の合成石英 |
| 四塩化ゲルマニウム | GeCl4 | ○ | - | ○ | 太陽電池やタッチパネル等の 透明導電膜(TCO)成膜 |
| 四塩化スズ | SnCl4 | ○ | - | ○ | 太陽電池やタッチパネル等の 透明導電膜(TCO)成膜 |
※ ◎ : 自然発火性
3つの気化方式