MF-F2 Series

小型流量センサ

MEMS技術を用いた小型流量センサーです。
業界トップクラスの小型化を実現しながら、正確な流量計測が可能です。

 

事業セグメント: Semiconductor
製品分類: Fluid Control
製造会社: HORIBA STEC, Co., Ltd.

販売対象地域:
日本
詳細.

  • 大流量でもコンパクト
  • 高速応答 50msec以下
  • 精度 ±3%F.S.以下
  • 自由な取り付け姿勢
  • 導入直管部不要

 

 

仕様一覧

型番表示方法

流量レンジと継手(ボディ材質)、適応流体の組合せ、オプション単品品番

外形寸法図

Gas Mass Flow Control and Measurement in Research and Testing Laboratories
Gas Mass Flow Control and Measurement in Research and Testing Laboratories
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Size: 3.14 MB
〈カタログ〉MF-F2 Series

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